分光干涉位移型多層膜厚測量儀 SI-T 系列

 從單層到多層，

可以實現(xiàn)在線穩(wěn)定測量全新

 針對測量場景量身定制的陣容

多層位移測量型 SI-T10

參考距離 :

9 mm

測量范圍 :

0.01 ～ 1.0 mm

特點

• 簡便測量多層膜
• 可測量位移
• ø8 mm &設(shè)定距離9 mm 的空間節(jié)省型

長距離厚度測量型 SI-T80

參考距離 :

80 mm

測量范圍 :

0.01 ～ 1.0 mm

特點

• 設(shè)定80 mm 的長距離
• 抗工件抖動
• 有利于高溫工件
• 粘附層也可以穩(wěn)定測量借助 KEYENCE *的光量累計功能，類似粘附層等粗糙的表面，也可以實現(xiàn)穩(wěn)定測量。

  實現(xiàn)廣范圍測量

  在拉伸制程等過程中，可以應(yīng)用于上游至下游的各種場所。