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氣控閥

化學(xué)液體用氣控閥

型號(hào)

AMD※※3R?AMG※※3R?GAMD※※3R

化學(xué)液體用氣控閥的新標(biāo)準(zhǔn)型。

適用于各種壓力、溫度、流體條件的gao端產(chǎn)品。

可將過(guò)去細(xì)分用途的機(jī)型統(tǒng)一。

行業(yè)

半導(dǎo)體制造工序（前工序）

化學(xué)液體供給設(shè)備用元件

產(chǎn)品特點(diǎn)：

【擴(kuò)大使用壓力范圍】

通過(guò)采用新密封結(jié)構(gòu)，擴(kuò)大使用壓力范圍。

A、B口的使用壓力實(shí)現(xiàn)通用化。

【酸堿適用】

執(zhí)行器采用耐化學(xué)藥品性優(yōu)異的氟樹(shù)脂“PVDF"，標(biāo)準(zhǔn)型應(yīng)用非常廣泛，酸堿同樣適用。

【擴(kuò)大流體溫度范圍】

大幅擴(kuò)大標(biāo)準(zhǔn)品的使用流體溫度范圍（Max. 120℃）。

可選擇帶傳感器的類型，通過(guò)信號(hào)確認(rèn)閥的開(kāi)閉情況。

【3種安裝方法】

除傳統(tǒng)的法蘭安裝、底面安裝外，還增加了4螺孔法蘭安裝。

化學(xué)液體用氣控閥的標(biāo)準(zhǔn)型。

成形品連接選擇項(xiàng)豐富的系列。

集成閥也備有兩種可選。

行業(yè)

半導(dǎo)體制造工序（前工序）

【連接選擇項(xiàng)豐富】（AMD※※2、AMG※※2、GAMD※※2系列）

樹(shù)脂閥體：SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc, 聚氯乙烯活接頭

SUS閥體：Rc, SUS伸出管, 雙卡套

【可供應(yīng)混合集成閥】（GAMD0※2A系列）

GAMD0※2A系列通過(guò)采用分割閥體結(jié)構(gòu)，能以短交貨期供應(yīng)混合集成閥。

標(biāo)準(zhǔn)品可選擇接頭尺寸和接頭方向、搭載的執(zhí)行器（動(dòng)作分類、選擇項(xiàng)等）等。