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質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。

S49 31/MT 質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器特點：

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 31/MT 質(zhì)量流量計 和質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；

分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2、S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計型號

S49 31 系列質(zhì)量流量控制器，S49為質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計產(chǎn)品，31/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。

其中：S49 31/MT 系列為質(zhì)量流量控制器。

S49 31A/MT 系列為質(zhì)量流量計。

質(zhì)量流量計用于氣體質(zhì)量流量精確測量計量；質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體流量的功能。

3、主要技術(shù)指標

質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質(zhì)量流量單位為：標準狀態(tài)mL/min （毫升/分鐘）（SCCM行業(yè)標準）；

標準狀態(tài)L/min （升/分鐘）（SLM行業(yè)標準）。

標準狀態(tài)為：溫度----0℃；

氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術(shù)指標

編號	項目	S49 31/MT	S49 31A/MT
1	流量規(guī)格	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	準確度	±1%F.S(10mL/min～5L/min規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S)
5	線性	±1.0%F.S，±1.5%F.S
6	重復(fù)精度	±0.2%F.S
7	響應(yīng)時間	(3～4)s
8	工作壓差范圍	(0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min
9	耐壓	3MPa; 10MPa
10	工作環(huán)境溫度	5℃～45℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標準密封材料	Viton?， EPDM，或其他由用戶
13	漏率	1×10-9atm.mL/s (He)
14	接頭	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他
15	輸入輸出信號	0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16	供電電源	±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17	外形尺寸mm	134×134×38
18	重量kg	1.0