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S49 32/MT質(zhì)量流量計

特點及主要應用領域
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設備。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)特點：

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應用領域：

半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；

分析儀器設備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設備；

環(huán)境檢測與分析設備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2. S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)型號

S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)，S49為質(zhì)量流量控制器(流量計)產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設計序列號。

質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量精確測量計量；

質(zhì)量流量控制器(流量計)不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能。

型式批準證書：2011F215-11

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標準

許可證編號：京制01050063號

3.主要技術指標

質(zhì)量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標準)

L/min （升/分鐘）。 (SLM行業(yè)標準)

標準狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；

氣壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量程值

S49 32/MT質(zhì)量流量計

表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)技術指標

編號	項目	S49 32/MT
1	流量規(guī)格	（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	準確度	±1.5%F.S
5	線性	±1.5%F.S
6	重復精度	±0.2%F.S
7	響應時間	≤8秒（T95）
8	工作壓差范圍	（50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9	耐壓	3MPa; 10MPa
10	工作環(huán)境溫度	（5～45）℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標準密封材料	Viton?， EPDM，或其他由用戶zhi定
13	漏率	1×10-8Pa.m3/s
14	接頭	Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR?；蚱渌捎脩魖hi定
15	輸入輸出信號	（0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16	供電電源	±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17	外形尺寸mm	130（寬）×102（高）×28（厚）
18	重量kg	0．8

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