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南京皓而普分析設(shè)備有限公司(愛爾蘭AGC南京辦事處)
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Hope皓而普S49 31/MT 質(zhì)量流量計

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產(chǎn)品型號

品       牌HOPE/皓而普

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地南京市

更新時間:2024-06-12 16:55:10瀏覽次數(shù):824次

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價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 液體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè)
Hope皓而普S49 31/MT 質(zhì)量流量計
主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

Hope皓而普S49 31/MT 質(zhì)量流量計

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM,用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。

S49 31 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計特點:

☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀,可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 31 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計主要應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制;

分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制;

各種形式的真空鍍膜設(shè)備;

環(huán)境檢測與分析設(shè)備;

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制;

特種材料表面處理裝置與燃燒控制;

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2、S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計型號

S49 31 系列質(zhì)量流量控制器,S49為質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計產(chǎn)品,31/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。

其中:S49 31/MT 系列為質(zhì)量流量控制器。

S49 31A/MT 系列為質(zhì)量流量計。

質(zhì)量流量計用于氣體質(zhì)量流量精確測量計量;質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能,還具有自動控制氣體流量的功能。

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標準  

Hope皓而普S49 31/MT 質(zhì)量流量計

3、 主要技術(shù)指標

質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質(zhì)量流量單位為:標準狀態(tài)mL/min (毫升/分鐘)   (SCCM行業(yè)標準);

               標準狀態(tài)L/min   (升/分鐘)(SLM行業(yè)標準)。

標準狀態(tài)為:溫度----0;

           氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術(shù)指標

編號

項目

S49 31/MT

S49 31A/MT

1

流量規(guī)格

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(0~1,2,3,5)L/min

2

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥


3

調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)

常閉


4

準確度

±1%F.S(10mL/min~5L/min規(guī)格,其余規(guī)格≤±2% F.S)

5

線性

±1.0%F.S,±1.5%F.S

6

重復(fù)精度

±0.2%F.S

7

響應(yīng)時間

(3~4)s

8

工作壓差范圍

(0.05~0.3)MPa;           (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min

9

耐壓

3MPa;           10MPa

10

工作環(huán)境溫度

5~45

11

材料

不銹鋼316L

12

標準密封材料

Viton?,    EPDM,  或其他由用戶zhi定

13

漏率

1×10-9atm.mL/s (He)

14

接頭

Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),

軟管接頭Ф4mm~Ф10mm  或其他

15

輸入輸出信號

0V~+5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)

16

供電電源

±15V(±2%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

134×134×38

18

重量kg

1.0

 

 

 

 

 

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