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[供應(yīng)]In-situ series-在線橢偏儀

貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2024-09-22 21:00:05

有效期:2024年9月22日 -- 2025年3月22日

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在線橢偏儀儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。

在線橢偏儀技術(shù)參數(shù):
·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)樣品膜層變化

在線橢偏儀儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。
 
在線橢偏儀技術(shù)參數(shù):
·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)樣品膜層變化
 
在線橢偏儀主要特點(diǎn):
將激發(fā)和探測(cè)頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實(shí)現(xiàn):
· 動(dòng)態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚變化
· 光譜模式:監(jiān)測(cè)薄膜的界面和組分

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