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真空應(yīng)用的高精度解決方案

為了在高真空、超高真空和超高純真空中直接使用，需要具有特殊設(shè)計(jì)的傳感器。我們?yōu)榇颂峁┚哂忻芊夤δ艿臄Q入式規(guī)格以及適合安裝在高真空中的高精度光電傳感器。這時(shí)信號(hào)通過“直通”解決方案通過電導(dǎo)線的電纜套管從真空腔中引出。

負(fù)載鎖定系統(tǒng)的兩個(gè)備選參考光柵

解決方案 – 版本1

我們的光電傳感器BOH提供一個(gè)用于實(shí)現(xiàn)晶片定心參考光柵的版本。它們作為擰入式規(guī)格在具有密封功能的堅(jiān)固不銹鋼殼體中提供，通過帶小光點(diǎn)的微型透鏡工作?？赏ㄟ^外部放大器舒適地進(jìn)行精調(diào)。

特點(diǎn)

• 擰入式規(guī)格
• 具有密封功能的堅(jiān)固不銹鋼殼體
• 帶小光點(diǎn)的微型透鏡
• 適合低至1x10-9 mbar的真空應(yīng)用
• 配備外部放大器，遠(yuǎn)程校準(zhǔn)簡單

解決方案 – 版本2

另外我們的光傳感器或帶集成式微型鏡頭的一次性光柵BOH可供使用，我們樂意根據(jù)您的個(gè)性化要求對(duì)它們進(jìn)行匹配。

特點(diǎn)

• 用于您的個(gè)性化背景的集成式微型透鏡
• 適合至1x10-9 mbar的真空應(yīng)用

  在嚴(yán)苛的環(huán)境下時(shí)也能可靠識(shí)別晶片

  解決方案

  巴魯夫的光電傳感器BOH甚至能夠通過真空腔上狹窄的殼體通道可靠檢查晶片的有無情況。它們具有帶小光點(diǎn)的微型透鏡。我們可按照您的個(gè)性化設(shè)計(jì)規(guī)定實(shí)現(xiàn)密封功能。

  特點(diǎn)

• 帶小光點(diǎn)的微型透鏡
• 具有密封功能的堅(jiān)固不銹鋼殼體符合個(gè)性化設(shè)計(jì)規(guī)定
• 適合低至1x10-9 mbar的真空應(yīng)用
• 配備外部放大器，遠(yuǎn)程校準(zhǔn)簡單