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SMC溫調(diào)器,日本SMC溫調(diào)器
為了提高硅圓片和液晶基板等上形成薄膜時的
厚度均勻性,清除生成物,保持介質(zhì)(顯像液、抗腐
蝕液及洗凈液等)粘性的穩(wěn)定性,都需要進(jìn)行溫度控
制。SMC公司可提供多種不同要求的溫調(diào)器,進(jìn)行
溫度控制。
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