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MKS傳感器如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過(guò)測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí)，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對(duì)膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。
真空計(jì)皮拉尼電阻規(guī)
 皮拉尼電阻規(guī) 也叫做熱電阻真空計(jì)，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。
如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測(cè)量熱絲電阻的變化，將有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
一、氣動(dòng)元件：
德國(guó)品牌：德國(guó)FESTO費(fèi)斯托氣動(dòng)元件，德國(guó)寶德BURKERT電磁閥，英國(guó)海隆諾冠
日本品牌：日本SMC氣動(dòng)元件，日本CKD喜開(kāi)理氣動(dòng)元件，日本小金井氣動(dòng)元件
意大利品牌：意大利UNIVER,意大利康茂盛
美國(guó)品牌：美國(guó)ROSS,美國(guó)ASCO電磁閥，美國(guó)MAC電磁閥
現(xiàn)貨中國(guó)臺(tái)灣：現(xiàn)貨中國(guó)臺(tái)灣MINDMAN金器，現(xiàn)貨中國(guó)臺(tái)灣AIRTAC亞德客
二、工控產(chǎn)品
德國(guó)品牌：德國(guó)PILZ皮爾茲繼電器，德國(guó)IFM易福門(mén)傳感器，德國(guó)海德漢HEIDENHAIN,德國(guó)P F倍加福傳感器，德國(guó)RENCON編碼器，德國(guó)施克SICK,德國(guó)TURCK圖爾克，德國(guó)HIRSCHMANN赫斯曼工業(yè)交換機(jī)。德國(guó)亨士樂(lè)，德國(guó)MURR穆?tīng)?，德?guó)金鐘默勒
日本品牌：日本歐姆龍OMRON傳感器，日本神視SUNX,基恩士，日本奧普士，日本SUMTAK盛太克編碼器，日本內(nèi)密控編碼器
美國(guó)品牌：巴士德BARKSDALE
三、液壓元件
美國(guó)品牌：美國(guó)NUMATICS紐曼蒂克，美國(guó)PARKER派克氣動(dòng)液壓，美國(guó)VICKERS威格士，美MOOG穆格，美國(guó)FAIRCHILD,美國(guó)POSEMOUNT羅斯蒙特，美國(guó)艾默生EMERSON,美國(guó)哈希HACH,美國(guó)丹尼遜液壓元件，美國(guó)克力帕
德國(guó)品牌：德國(guó)HAWE哈威，德國(guó)REXROTH力士樂(lè)，德國(guó)HYDAC賀德克，德國(guó)E H，德國(guó)博力謀BELIMO
日本品牌：日本油研YUKEN，日本不二越NACHI，日本黑田精工，日本豐興TOYOOKI，日本大金液壓DAIKIN，日本東機(jī)美
意大利：意大利ATOS阿托斯
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