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詳細介紹
一手供應美國Brooks質(zhì)量流量控制器GF100C
PC100 系列金屬密封壓力控制器壓力準確，控制精確，型號 PC115 / PC125，PC100 系列壓力控制器和壓力表結(jié)合大量高性能技術特點，為高要求的半導體、氣相沉積和其他超精密制造工藝提供了新的壓力控制準確度和可靠性水平。
建立于可靠的 Brooks GF100 質(zhì)量流量控制器技術之上，PC100 系列*高純度全金屬流路，專門設計的增強傳感器技術以消除傳感器漂移，以及用戶界面和設備診斷能力，可使設備評價和故障排除更容易，產(chǎn)生有限的維修中斷和減少停機時間。
高純流路
Brooks PC100系列具有全金屬，耐腐蝕，符合Semi F20的潤濕性具有高度耐腐蝕的Hastelloy®C-22閥座和噴嘴的流路。
•整體減小的表面積和未打掃的體積可以在吹掃步驟中更快地干燥
•長期的熱或壓力傳感器和設備穩(wěn)定性可蕞大化產(chǎn)量和吞吐量
Advanced Advanced Advanced Thermal Flow Measur熱流量測量傳感器t傳感器帶有嵌入式流量計的PC125具有專有的高度耐腐蝕性能哈氏合金C-22傳感器。增強的傳感器制造和過程燒傷結(jié)合*的正交傳感器安裝方向以消除傳感器漂移由閥門的熱效應引起，并消除熱虹吸效應。這個*傳感器配置包括針對易燃氣體的優(yōu)化溫度曲線熱分解。
一手供應美國Brooks質(zhì)量流量控制器GF100C
此設計導致：
•增強了信噪比性能，以提高低設定點的精度
•通過新型等溫包裝，在高溫下具有出色的重現(xiàn)性
以及帶有環(huán)境溫度感應和補償功能的車載空調(diào)電子設備
•改善長期穩(wěn)定性
增強的診斷和用戶界面
Brooks PC100系列提供在線設備評估和即時
故障排除導致有限的服務中斷并減少了停機時間。
•獨立的診斷/服務端口
•高可見度LCD顯示屏，帶有易于操作的按鈕，用于本地指示流量
（％），溫度（°C），托/壓力（PSIA / kPa）和網(wǎng)絡地址
•調(diào)零按鈕可在計劃維護期間輕松地將設備調(diào)零。零按鈕將
零壓力傳感器或熱傳感器，具體取決于顯示屏上顯示的內(nèi)容。
通訊接口
PC100系列支持DeviceNet™通信協(xié)議。 DeviceNet是一個多節(jié)點
連接，多可在同一設備上連接64個設備
網(wǎng)絡。 Brooks Instrument的DeviceNet配置文件已通過ODVA™（開放
DeviceNet供應商協(xié)會）。
特點
響應時間：<1 秒
滿量程流速高達 10 slm
傳感器壓力范圍：1000 Torr FS
全金屬密封流路：5µ 英寸 Ra 表面拋光
PC125 使用嵌入式流量計，包括與高速 ARM 處理器結(jié)合在一起的高耐腐蝕性 Hastelloy® C-22 流量傳感器
快速作用無隔膜閥組件
帶有易接近按鈕的高可視性 LCD 顯示屏，用于流量、溫度和網(wǎng)絡地址本地指示
獨立的診斷/維護端口
DeviceNet™ 協(xié)議
優(yōu)勢
高性能部件可提供快速響應和設置時間以改進壓力控制
減少旁通排氣氣體消耗以及相關減排成本
遵從 SEMI F20 的全金屬耐腐蝕接液流路與整體減少的表面積及未波及體積一起確保在清洗步驟更快干透
長期熱或壓力傳感器設備穩(wěn)定性蕞大限度提高產(chǎn)量和吞吐量
用于要求緩慢上升壓力控制過程的用戶可編程啟動功能
應用
半導體高級蝕刻工具
薄膜化學氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)
產(chǎn)品特征產(chǎn)品特點
•1-1 / 8“機械平臺
•高性能共平面閥
•所有浸濕部件大32 Ra，以保持顆粒，水分和無污染的工藝條件
•全金屬密封，高泄漏完整性（小于1x10-10 atm-cc / sec He）
•流量精度為速率（或設定值）的±1％，包括線性度以確保設備精確控制在
期望水平
•數(shù)字通信選項使操作簡單調(diào)試并減少系統(tǒng)接線
•設備可以存儲10個可選的校準和流量
范圍
•符合CE
模擬量I / O：模擬量I / O：
•15針
•0-5伏設定值和流量信號
•單面+15伏直流電源
•單獨的“閥超控”信號
•與布魯克斯的0254型二次電子設備兼容
DeviceNet DeviceNetTM通信選項：
通信選項：
•易于調(diào)試并減少了系統(tǒng)接線
•傳感器，閥門，校準，調(diào)整，診斷和其他內(nèi)部功能的可訪問性數(shù)據(jù)，以支持現(xiàn)場快速調(diào)試和簡化控制器
預防性的維護
•MAC-ID，Baudrate旋轉(zhuǎn)開關和兩個雙色狀態(tài)LED-易于設置和尋址以及狀態(tài)確認
•供應商特定配置文件，ODVA認證
•功能：輪詢I / O，循環(huán)，狀態(tài)更改和顯式消息傳遞
安裝：
1、選用控制器*使預定設定值位于控制器設定值調(diào)節(jié)范圍的中間部分。一般為調(diào)節(jié)范圍的20[%]~80[%]。
2、控制器要安裝在室外時，應給予足夠的防護，以免受環(huán)境溫度的劇烈變化，陽光直接輻射，腐蝕性氣體或水的滲入。
3、安裝電纜時，應選擇合適的電纜外徑，并將電纜引入處的壓緊的螺母擰緊，以免電纜松動，并防止水或灰塵的滲入。
4、對于有壓力峰值及脈沖壓力的受控液體介質(zhì)，可在控制器的接口上安裝一個壓力沖擊阻尼器，以消除不利影響。
5、通斷電流不能大于額定值。
6、安裝（或拆卸）控制器時要特別注意：
1） 安裝（或拆卸）必須用扳手夾持傳感器的平面部份，防止傳感器和開關殼體發(fā)生相對轉(zhuǎn)動。
2） 當傳感器接口為內(nèi)螺紋時，管道接頭旋入傳感器內(nèi)深度不可超過12mm。
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