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ALICAT質(zhì)量流量控制器原理應(yīng)用及產(chǎn)品概觀

閱讀:971          發(fā)布時(shí)間:2019-3-8

ALICAT質(zhì)量流量控制器原理應(yīng)用及產(chǎn)品概觀
ALICAT MC-Gas質(zhì)量流量控制器響應(yīng)氣體流量控制,抑制壓力波動(dòng)
的MFC只需做一件事:將流速保持在設(shè)定值。Alicat的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值,即使在壓力峰值的情況下也能保持穩(wěn)定。我們將使用您的應(yīng)用參數(shù)來定制閥門和PID調(diào)節(jié),以確保它提供快速和穩(wěn)定的控制。
多才多藝。在監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力,動(dòng)態(tài)選擇另一種氣體校準(zhǔn)或使用COMPOSER?定義您自己的氣體成分。
連接的。 通過Ethernet / IP,EtherCAT,DeviceNet,Profibus,Modbus(RTU和TCP / IP)或串行通信選項(xiàng)輕松集成到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。 MC系列流量控制器可暫時(shí)流動(dòng)液體而不會(huì)被破壞。為了環(huán)境耐用,我們可以構(gòu)建具有IP66入口保護(hù)的MFC。
可用范圍:大0-5000 slpm,小0-0.5 sccm /0-500sμlm(有關(guān)庫存范圍,請(qǐng)參閱零件號(hào)選項(xiàng)卡)
調(diào)節(jié)比:200:1(MC)或100:1(MCS)
標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn),NIST可追溯:+/-(讀數(shù)的0.8%+滿量程范圍的0.2%)
可選的高精度校準(zhǔn),NIST可追溯:+/-(讀數(shù)的0.4%+滿量程范圍的0.2%)
重復(fù)性:滿量程范圍的0.2%
典型控制響應(yīng)時(shí)間常數(shù):50-100 ms(PID調(diào)節(jié)時(shí)低至25 ms)
無需預(yù)熱時(shí)間
ALICAT質(zhì)量流量控制器運(yùn)行條件
兼容氣體:98(MC)或130(MCS)預(yù)加載可選氣體校準(zhǔn); 可用COMPOSER定義的其他混合物
工作溫度:-10°C至+ 60°C
大內(nèi)壓(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
證明壓力:175 psig(190 psia)
STP / NTP:用戶可選擇(默認(rèn)為25°C和1 atm STP / 0°C和1 atm NTP)

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