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- 冷陰極電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225
- 薄膜電容規(guī) CTR100、CTR91
- 薄膜/皮拉尼復(fù)合規(guī) TTR100、TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) ITR90
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- 新型Center和Display系列真空計
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按照Oerlikon真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。
利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。 如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時。 也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。
如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準(zhǔn)確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。 如右圖所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。 如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。 如右圖所示，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
分類原理介紹 按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。
利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
真空計波爾登規(guī)（Bourdon）
波爾登規(guī) 如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
真空計薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī) 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時。
真空計皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī) 也叫做熱電阻真空計，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。
如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準(zhǔn)確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
真空計熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī) 如右圖所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。