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美國MKS流量控制器GE50A系列原廠直采
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GE50A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當(dāng)今市場上的質(zhì)量流量控制器，GE50A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
該GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可配備RS485，PROFIBUS，EtherCAT的，或DeviceNetI / O。 數(shù)字電子控制利用快速和可重復(fù)響應(yīng)的MKS控制算法在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)設(shè)定值。 典型的反應(yīng)時間是500毫秒的量級。 數(shù)字校準(zhǔn)收益率校準(zhǔn)氣體設(shè)定精度為1％。 I / O協(xié)議旨在讓GE50A輕松地與較小的編碼代替MKS 1179A MFC的RS485和DeviceNet版本。
一個標(biāo)準(zhǔn)的3英寸的足跡使得其無需修改現(xiàn)有的天然氣生產(chǎn)線配置使用。 該GE50A采用了一些彈性體 - 只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。 所有濕潤的表面是金屬。 該GE50A帶有氟橡膠密封件或可選布納，Neoprene或的Kalrez標(biāo)準(zhǔn)，支持不同的氣體需求。
GE50A是通用的，彈性體密封的MFC，非常適用于各種需要流量控制能力從5 sccm到50 slm N2的應(yīng)用當(dāng)量。GE50A集成了比較新的數(shù)字流量控制電子設(shè)備以及久經(jīng)考驗的，獲得熱傳感器和機械設(shè)計。
GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字化控制電子器件采用比較新的MKS控制算法，可提供快速，可重復(fù)的功能在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間在500毫秒的量級。
包括數(shù)字校準(zhǔn)，可產(chǎn)生設(shè)定點精度的1%在校準(zhǔn)氣體上。 GE50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用于替換與1179A MFC相同的I / O類型。所有GE50A均包含Modbus。輔助I / O(不包括PROFINET?和EtherCAT?)。
GE50A利用3sccm的MFC比較常使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占位面積到50 slm的流量范圍，無需修改現(xiàn)有的氣體管線即可使用配置。 GE50A的設(shè)計采用了比較少的彈性體。有僅一個外部彈性體密封件和彈性體閥塞。
否則，所有濕潤的表面是金屬的。 GE50A標(biāo)配Viton?密封件以及Buna選件，Neoprene?，EPMD或Kalrez?允許設(shè)備使用需要以下氣體之一的氣體備擇方案。 GE50A MFC具有常閉型或常開型閥。
MKS流量控制器GE50A系列技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 的全量程。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4"等
材質(zhì)：316不銹鋼。
質(zhì)保期：有限保修自售出之日起12個月。
美國MKS流量控制器GE50A系列原廠直采
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