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飛納掃描電鏡的主要測(cè)試技術(shù)特點(diǎn)
飛納掃描電鏡的主要測(cè)試技術(shù)特點(diǎn)
飛納掃描電鏡的工作原理是由電子槍發(fā)射出來(lái)直徑為50μm(微米)的電子束，在加速電壓的作用下經(jīng)過(guò)磁透鏡系統(tǒng)會(huì)聚，形成直徑為5nm(納米)的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用 下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，同時(shí)同步探測(cè)入射電子和研究對(duì)象相互作用后從樣品表面散射出來(lái)的電子和光子，獲得相應(yīng)材料的表面形貌和成分分析。
從材料表面散射出來(lái)的二次電子的能量一般低于50eV，其大多數(shù)的能量約在2 ～ 3 eV。因?yàn)槎坞娮拥哪芰枯^低，只有樣品表面產(chǎn)生的二次電子才能跑出表面，深度只有幾個(gè)納米，這些信號(hào)電子經(jīng)探測(cè)器收集并轉(zhuǎn) 換為光子，再通過(guò)電信號(hào)放大器加以放大處理，成像在顯示系統(tǒng)上。
飛納掃描電鏡測(cè)試技術(shù)特點(diǎn)主要有：
( 1) 聚焦景深大。飛納掃描電鏡的聚焦景深是實(shí)體顯微鏡聚焦景深的50倍，比偏反光顯微鏡則大500倍，且不受樣品大小與厚度的影響，觀察樣品時(shí)立體感強(qiáng)。
( 2) 二次電子掃描圖像的分辨率優(yōu)于100，比實(shí)體顯微鏡高200倍，可以直接觀察礦物、巖石等的表面顯微結(jié)構(gòu)特征，清晰度好。
( 3) 放大倍數(shù)在14 ～ 100000 倍內(nèi)連續(xù)可調(diào)。*光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡之間放大倍數(shù)的空白，便于在低倍下尋找位置，在高倍下詳細(xì)觀察，且不用重新對(duì)焦，易于了解局部和整體之間的相互聯(lián)系。
( 4) 不破壞樣品，制樣方便，樣品大小幾乎不受限制。
( 5) 飛納掃描電鏡是一種有效的理化分析工具，通過(guò)它可進(jìn)行各種形式的圖像觀察、元素分析、晶體結(jié)構(gòu)分析，特殊之處在于把來(lái)自二次電子的圖像信號(hào)作為時(shí)像信號(hào)，將一點(diǎn)一點(diǎn)的畫(huà)面“動(dòng)態(tài)”地形成三維的圖像。