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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

加速電壓效應(yīng)對(duì)掃描電鏡成像質(zhì)量的影響

時(shí)間:2020-5-12 閱讀:2519
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掃描電鏡激發(fā)樣品的物理信號(hào)(二次電子、背散射電子、特征 X 射線(xiàn)等)主要取決于入射電子束的加速電壓,當(dāng)高能量的電子束入射到同一樣品時(shí),入射電子束與試樣相互作用區(qū)范圍的大小隨加速電壓的升高而增大;在同一加速電壓下,相互作用區(qū)隨樣品的原子系數(shù)增大而減小。電子束的激發(fā)深度與加速電壓和樣品原子系數(shù)的關(guān)系如圖 1 所示。

 

圖1 電子束激發(fā)深度與加速電壓和原子系數(shù)關(guān)系示意圖

 

在實(shí)際操作過(guò)程中要采集到一幅好照片,除了要有好的儀器設(shè)備之外,選擇合適的加速電壓值也是很重要的一步。選擇高、低不同的加速電壓各有不同的優(yōu)缺點(diǎn),通常應(yīng)根據(jù)所測(cè)的樣品類(lèi)型和分析目的進(jìn)行考慮,一般來(lái)說(shuō),金屬樣品一般需要選擇較高的加速電壓,炭材料、有機(jī)物等由輕元素組成的樣品一般選擇較低的加速電壓。

 

高加速電壓的優(yōu)點(diǎn)

 

加速電壓越高入射電子束的波長(zhǎng)越短,由瑞利公式可得,電子束的波長(zhǎng)越短,得到圖像的分辨率越高,而且抗外部電磁場(chǎng)的干擾能力也會(huì)增強(qiáng),不易受到試樣表層污染的影響,所以高加速電壓比較適合拍攝高倍率的圖像。如下圖所示,當(dāng)加速電壓為15 kV 時(shí),金項(xiàng)鏈上面的油脂、污染物、缺陷等消失,表面更為平整;

 

  

 5kV                                                                           15kV

 

高加速電壓的缺點(diǎn)

 

所獲得的圖像會(huì)缺少表面信息和細(xì)節(jié),易呈現(xiàn)高反差,會(huì)明顯增大邊緣效應(yīng),使得到的圖像比較生硬。另外,高加速電壓、大束斑也容易造成試樣的荷電和損傷,以及圖形的漂移。下圖樣品是石墨顆粒在不同加速電壓(5kV、10kV、15kV)下的掃描電鏡圖像:15kV 時(shí)的穿透是zui強(qiáng)的,形貌襯度在一定程度上損失;

 

   

  5kV                                         10kV                                          15kV

 

低加速電壓的優(yōu)點(diǎn)

 

電鏡圖像的成像信息來(lái)源越趨于表面,圖像的表面細(xì)節(jié)就越顯得豐富、細(xì)膩,特別是會(huì)明顯地減少邊緣效應(yīng),使圖像顯得更協(xié)調(diào)、柔和。另外,低加速電壓對(duì)樣品表面損傷小,不容易造成試樣的荷電和圖像的漂移。下圖為薄膜樣品在不同加速電壓(5kV、10kV)下的兩張照片。

 

 

5kV                                                                        10kV

 

低加速電壓的缺點(diǎn)

 

加速電壓越低,電子束的波長(zhǎng)越長(zhǎng),圖像分辨率較低,不容易得到高分辨力的圖像,所以低加速電壓僅適合拍攝放大倍率不太高的圖像;其次信噪比較差,抗外部電磁場(chǎng)的干擾能力也較弱,不易得到高清晰和高分辨力的圖像。如圖所示,選用 5kV(右)拍攝 50000 倍圖像時(shí),圖像信噪比較差,分辨率較低。

 

  

10kV                                                                      5kV

 

總之,在選擇加速電壓時(shí),需要綜合考慮高/低加速電壓的優(yōu)缺點(diǎn)再做決定。選擇較低的加速電壓有可能會(huì)影響圖像的信噪比,但獲得的圖像表面信息量更多,所以在選擇加速電壓時(shí)需要根據(jù)試樣的具體情況和現(xiàn)場(chǎng)的實(shí)時(shí)需求進(jìn)行綜合考慮。

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