高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的分辨率主要由電子束的直徑和探測器的靈敏度決定。電子束的直徑越小,分辨率越高。而電子束的直徑又由電子槍的性能和電磁透鏡的質(zhì)量決定。探測器的靈敏度越高,能夠檢測到的信號(hào)電子就越多,分辨率也就越高。分辨率還受到工作距離、加速電壓、樣品的導(dǎo)電性能等因素的影響。工作距離越短,加速電壓越高,樣品的導(dǎo)電性能越好,分辨率就越高。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的設(shè)計(jì)特點(diǎn):
-體型小巧:體型小巧,占用空間小,這使得它在實(shí)驗(yàn)室中的布置更為靈活,不需要專門的大空間進(jìn)行安置。
-結(jié)構(gòu)簡潔:產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡潔,不僅美觀,而且易于維護(hù)及保養(yǎng)。簡潔的設(shè)計(jì)降低了日常使用中的復(fù)雜性,提高了設(shè)備的使用效率。
-操作界面友好:強(qiáng)大的軟件功能配合單窗口操作界面,使得用戶操作變得方便簡單。這種人性化的設(shè)計(jì)理念,大大降低了操作者的技術(shù)門檻,使得設(shè)備更加普及。
-實(shí)時(shí)存儲(chǔ):軟件實(shí)現(xiàn)檢測圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ),這對于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的即時(shí)分析和記錄至關(guān)重要,保證了數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和實(shí)時(shí)性。
-自動(dòng)平臺(tái):采用中心定位模式的自動(dòng)平臺(tái),能夠迅速定位待測樣品。這種設(shè)計(jì)提高了樣品檢測的效率,節(jié)省了準(zhǔn)備時(shí)間。
-高低壓真空設(shè)計(jì):可調(diào)式電壓的高低壓真空設(shè)計(jì)為不同樣品提供了更合適的檢測環(huán)境,這種靈活性是傳統(tǒng)掃描電鏡所不具備的。
-高亮度燈絲:使用高亮度燈絲的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡,放大倍數(shù)可達(dá)130,000倍,能夠觀察到納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
-全新聚焦系統(tǒng):基于高亮度燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)的分辨率輕松達(dá)到14nm,這為科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了細(xì)節(jié)觀察能力。
-全自動(dòng)操作:具有全自動(dòng)操作功能,包括15秒快速抽真空、不噴金觀看等功能,這些都極大地提升了用戶的使用體驗(yàn)。
-微區(qū)形貌分析:掃描電子顯微鏡適用于高分辨率微區(qū)形貌分析,其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,包括但不限于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等多個(gè)學(xué)科。
-立體感成像:具有景深大、成像直觀、立體感強(qiáng)的特點(diǎn),這使得其在三維結(jié)構(gòu)分析中具有特殊的優(yōu)勢。