您好, 歡迎來到化工儀器網
產品簡介
詳細介紹
海洋光學PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀
PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀，實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量，通過高級過程控制系統及精密數據存取算法，只需3m就可以獲得測量結果。海洋光學特點
海洋光學Recipe編輯器Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監(jiān)測、表面潔度監(jiān)測、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測等，能夠快速簡單的構建模塊過程控制。 多種工具用于等離子體診斷隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能?？蛇x的波長發(fā)生器（可以單獨購買）用于類型確認，而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。 PlasCalc 配置說明
|
PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀優(yōu)點是軟件分析功能強大,光譜范圍寬,缺點是分辨率低.
