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1.控制面板按鍵按鈕說明 2.PVC膜薄膜微動按鍵說明
a. Power 220V電源開關(guān) a. Reset 復(fù)位按鍵
b. Standby 真空泵手動按鈕 b. Set 設(shè)置按鍵
c. Setting 功率手動微調(diào) c. + 數(shù)據(jù)增加鍵
d. Pump 真空泵氣路按鈕 d. - 數(shù)據(jù)減少鍵
e. Generator 高壓允許按鈕 e. Enter 確認(rèn)鍵
f. Gas 外加氣體允許按鈕
g. Air/Vent 進(jìn)氣按鈕（真空復(fù)位）
3. 參數(shù)設(shè)置
命令注釋：左邊*個數(shù)碼管LED1是命令顯示，由Set鍵循環(huán)控制操作，各命令注釋如下：
“P”命令 初始上電；待機(jī)狀態(tài)；任意復(fù)位的顯示。
“1”命令 指在自動狀態(tài)的運(yùn)行開始命令，確認(rèn)鍵后執(zhí)行。
“2”命令 等離子清洗處理時間，單位為分，確認(rèn)鍵后存儲記憶。
“3”命令 射頻功率設(shè)置，顯示為zui大功率的百分比。確認(rèn)鍵后存儲記憶。
“4”命令 E表示自動控制，n表示非自動控制（手動控制）。在此命令下，按下“+”鍵顯示為E，按下“—”鍵顯示為n,確認(rèn)鍵后存儲記憶。
“5”命令 真空度設(shè)置，確認(rèn)鍵后存儲記憶。真空壓力寫入依據(jù)：初次使用時，若在常壓下顯示為“P”，關(guān)好倉門啟動真空泵，按下真空閥的按鈕，開始抽真空，隨著真空度的增加，右邊的三個LED進(jìn)入真空壓力的顯示，當(dāng)壓力大于99.1時，用手動給高壓，（Genera tor），觀察真空倉的顏色是否發(fā)白，若為紅色或者打火花，即刻停止高壓，繼續(xù)抽真空，隨著壓力數(shù)值的增加，再用上述方法實(shí)驗(yàn)，找到發(fā)白光的準(zhǔn)確的壓力值，在復(fù)位后用命令“5”寫入該數(shù)值即可。即作為真空度的標(biāo)準(zhǔn)值。（此項(xiàng)也是作為儀器安裝是否可以正常使用的標(biāo)準(zhǔn)）
“6”命令 空
以上各命令都可在Reset鍵下終止，回到復(fù)位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可由“+”鍵、“—”鍵調(diào)整，確認(rèn)鍵后記憶保存，斷電不丟。當(dāng)數(shù)字量初始置入和發(fā)生改變 時請先按“+”鍵進(jìn)行調(diào)整，以確?？煽亢蜏p少寫入時間。
4 “P”狀態(tài)下的手動運(yùn)行實(shí)驗(yàn)處理
在“4”命令下設(shè)置為n的手動狀態(tài)，設(shè)好參數(shù)值，并確認(rèn)保存
a. 將被處理物體放置到倉內(nèi)，關(guān)好倉門，啟動真空泵后按下Pump鈕，開始抽真空。
b. 真空度達(dá)到要求時，按下Generator鈕，加入射頻高壓，調(diào)節(jié)進(jìn)氣量，處理過程開始。
c. 到達(dá)處理時間后，手動先復(fù)原Pump鈕，再復(fù)原Generator鈕，關(guān)掉正空泵，而后按下Air/Vent鈕，3秒左右恢復(fù)常壓，無進(jìn)氣聲響時復(fù)原Air/Vent鈕。
d. 打開倉門，取出被處理物，一個處理過程結(jié)束。
5．“1”命令下的自動運(yùn)行實(shí)驗(yàn)處理
在“1”命令下的自動處理過程（“4”命令下已設(shè)置為E）都是在微計(jì)算機(jī)控制下連續(xù)完成的，只需事先將各參數(shù)量值設(shè)置準(zhǔn)確即可。需說明的是時間參數(shù)和功率參數(shù)都是由實(shí)驗(yàn)中得到的。
6.為了防止真空泵油回流，儀器做完實(shí)驗(yàn)后，要在關(guān)掉真空泵電源后，同時開啟 真空閥與通風(fēng)閥三秒鐘，使真空泵恢復(fù)常壓，即能保證不會回油。
7.注意事項(xiàng)：
A:開箱后檢查機(jī)器外觀、艙門、流量計(jì)等是否有碰撞損壞或變形。
B．若是5C型機(jī)，請將真空泵的不銹鋼轉(zhuǎn)換接頭用生料帶纏好兩頭后，擰在真空泵上。
C.在選定合適的放置位置后，將真空軟管連接主機(jī)與真空泵，此項(xiàng)操作非常關(guān)鍵：
軟管兩頭各插入30毫米左右且不要使軟管扭曲受力，兩頭緊固用的管卡在連接處的中心位置擺放平行后擰緊。正常使用后盡量避免管路的移動。
D.為了方便操作與自動運(yùn)行，把真空泵原來的電源頭剪下，用附件中的電源頭替代接好插到主機(jī)后電源插座上。
E．接好主機(jī)電源線，打開電源開關(guān)，此時LED應(yīng)顯示“P”，注意主機(jī)面板下邊的五個手動按鈕的指示燈應(yīng)是熄滅的，若有亮燈應(yīng)將其復(fù)位。加電后若LED顯示為數(shù)字，表示主機(jī)處于真空狀態(tài)，按下Air/Vent按鈕，通風(fēng)后使之恢復(fù)常壓顯示“P”時，才能打開艙門，進(jìn)行后續(xù)的操作。
初始安裝時,遵循下列步驟：
準(zhǔn)備工作：找到合適的位置放好儀器主機(jī)，打開真空泵包裝，灌裝好真空油（通過觀察窗觀察到真空油到觀察窗的三分之二的位置即可），改裝真空泵電源線（更換隨機(jī)的電源接頭）。
*步連接好等離子清洗機(jī)與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。
第二步接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕必須處于復(fù)位狀態(tài),同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機(jī)箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險動作。
第三步*次開機(jī)前，先取出托載盤（專指不銹鋼內(nèi)置倉體機(jī)，而對于外置石英玻璃倉體則絕不允許撤出托載盤），旋好倉門，此時會聽到倉門限位開關(guān)發(fā)出動作聲音，此音響表明允許后續(xù)的處理操作能正常進(jìn)行。
第四步按下Power開關(guān)，開關(guān)上指示燈亮；按下真空泵Standby按鈕，啟動真空泵，緊接按下Pump按鈕，進(jìn)入抽真空狀態(tài)。
第五步*次開機(jī)抽真空時間應(yīng)持續(xù)15分鐘以上且不做其他操作，目的是去潮除濕，同時檢查是否有漏氣部位。
