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半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)應(yīng)用

時(shí)間:2022/3/23閱讀:259
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半導(dǎo)體行業(yè)等離子清洗機(jī)的應(yīng)用:灌裝-提高灌注物的粘合性;bond pad清潔-通過接合焊盤(bond pad)清潔改善絲焊,聚合物綁定-改善塑料材料的粘結(jié)邦定性能

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等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.

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等離子清洗機(jī)應(yīng)用于當(dāng)代半導(dǎo)體、薄膜/厚膜電路等行業(yè)在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗工藝,等離子清洗機(jī)不僅提升了產(chǎn)品工藝要求,采用等離子清洗機(jī)可以清洗產(chǎn)品不均勻的問題,并且有效改善和提升封裝行業(yè)中的沾污能力不足問題。

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等離子清洗機(jī)采用的等離子體表面處理技術(shù)是一種綠色、環(huán)保、安全、節(jié)能的干式加工方式,低溫等離子體中的高能活性粒子與材料表面相互作用,例如:表面活化、接枝聚合等,改變了材料表面的形貌特征和化學(xué)組成。





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