等離子清洗機采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗程度達(dá)到分子級。等離子清洗機器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，等離子體清洗機作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子清洗機器的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機的表面接枝與聚合作用：

在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時，采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán)，利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán)，以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。

等離子清洗機是利用等離子體的高能量、不穩(wěn)定的特點，當(dāng)固體材料表面接觸到等離子體后，表面的微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)性質(zhì)、能量都會發(fā)生變化。

等離子清洗機的表面改性，就是利用等離子體的特點，對需要處理的固體材料表面進(jìn)行清潔、活化、激活，從而實現(xiàn)改變表面微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)性質(zhì)、能量的目的。