等離子清洗機(jī)是高精度的干法清洗設(shè)備，它的清洗范圍為納米級(jí)別的有機(jī)和無(wú)機(jī)污染物，ICD行業(yè)中的ITO玻璃在運(yùn)送和濕法清洗后，表面殘留的有機(jī)溶液和無(wú)機(jī)顆粒，成為影響IC貼合到ITO玻璃上的主要因素。利用等離子清洗機(jī)來(lái)對(duì)ITO玻璃進(jìn)行表面清潔，是比較有效的清潔方法。

對(duì)LCD液晶玻璃采用等離子清洗機(jī)使用的活化氣體是氧的等離子體，它能除去油性污垢和有機(jī)污染物粒子，因?yàn)闅涞入x子體可將有機(jī)物氧化并形成氣體排出。通過(guò)等離子清洗機(jī)洗凈工藝后的電極的端子與顯示器，增強(qiáng)了偏光板粘貼的成品率，并目電極的端子與導(dǎo)電膜間的粘附性也大大改善，從而改善了產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩(wěn)定性。

PLASMA等離子清洗機(jī)用于LCD封裝表面蝕刻處理

在玻璃基板（LCD）上安裝裸芯片IC（bare chip IC）的COG工藝中，當(dāng)芯片在高溫下鍵合固化時(shí)，基板涂層的成分沉積在鍵合填料的表面。有時(shí)，銀漿和其他粘合劑會(huì)溢出并污染粘合填料。在熱壓結(jié)合工藝之前采用等離子清洗機(jī)能去除這些污染物可以顯著提高熱壓結(jié)合的質(zhì)量。此外，通過(guò)提高裸芯片基板與IC表面的潤(rùn)濕性，提高LCD-COG模塊的附著力，減少線路腐蝕問(wèn)題。

等離子清洗機(jī)能去除金屬、陶瓷、塑料和玻璃等表面的有機(jī)污染物，并能顯著改變這些表面的粘合強(qiáng)度和焊接強(qiáng)度。電離過(guò)程易于控制并且可以安全地重復(fù)。等離子清洗機(jī)有效的表面處理是提高產(chǎn)品可靠性和工藝效率的關(guān)鍵。等離子清洗機(jī)能通過(guò)表面活化提高大多數(shù)物質(zhì)的性能：清潔度、親水性、拒水性、內(nèi)聚性、可拉伸性、潤(rùn)滑性和耐磨性。