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A-123 帶空氣軸承的PIglideAT3線性平臺(tái)
高性能納米級(jí)定位平臺(tái)

掃描應(yīng)用的完美選擇或精密定位
無塵室兼容
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的尺寸210 毫米×210 毫米
行程50 毫米至750 毫米
分辨率達(dá)1納米

產(chǎn)品概述

PIglide系列平臺(tái)配備伺服驅(qū)動(dòng)器線性電機(jī)，電機(jī)配置帶預(yù)載的空氣軸承和集成線性編碼器。這類非接觸式零件的組合形成了一個(gè)無摩擦運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可提供讓人滿意的性能、質(zhì)量和使用壽命。

高推動(dòng)力線性電機(jī)可以在幾毫秒內(nèi)將平臺(tái)驅(qū)動(dòng)至高速度，高承載能力軸承可支承重達(dá)60 公斤的有效載荷。該型號(hào)中的側(cè)面相對(duì)、主動(dòng)預(yù)載空氣軸承設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)任意方向上的安裝。

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描。

由于無摩擦運(yùn)動(dòng)，因此不會(huì)形成顆粒，從而使平臺(tái)成為無塵室應(yīng)用的優(yōu)先選擇。

 

附件和可選配件

• 編碼器
• PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器
• 單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器
• XY裝置和個(gè)性化配置
• 電纜軌道變型
• 用于垂直（Z）方向的配重選項(xiàng)
• 可提供定制版
• 花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)