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參考級線性平臺

由于平滑運行的精密線性導向裝置采用交叉滾柱軸承，因此該線性平臺特別適合速度恒定的掃描應用。防蠕動系統(tǒng)可靠地防止保持架蠕變。導向裝置在所有操作條件下都具有高負載能力和高精度。

直接位置測量

以*的精度直接在運動平臺上進行位置測量，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進行相應處理后，可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。由于信號周期短，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。 PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。

編碼器提供明確的位置信息，幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位，提高了操作過程中的效率和安全性。

PIMag磁力直接驅(qū)動

三相磁性直接驅(qū)動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件，其可直接將驅(qū)動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅(qū)動器可實現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在的速度下也能保持平穩(wěn)的運行，同時，在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅(qū)動力可任意設定。

應用領域

工業(yè)和科研。自動化、測量技術(shù)、光子學以及半導體或平板顯示器制造中的精密掃描