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多功能微波等離子體實(shí)驗(yàn)裝置型號(hào)：YQDH2004

貨號(hào)：ZH5501

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
自然界中物質(zhì)的形態(tài)除了固、液、氣三種形態(tài)之外，還存在第四態(tài)，即等離子體狀態(tài)。等離子體的產(chǎn)生過程為：固體物質(zhì)在受熱的情況下熔化成液體，液體進(jìn)一步受熱后變成氣體，氣體進(jìn)一步受熱后，中性的原子和分子電離成離子和電子，形成等離子體。由于等離子體中含有大量具有高能量的活性基團(tuán)，這使得等離子體能夠參與或發(fā)生許多不同的化學(xué)或物理反應(yīng)。
本裝置是我公司和武漢工程大學(xué)等離子體化學(xué)與新材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制。由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微波源產(chǎn)生的頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導(dǎo)管傳輸，經(jīng)過調(diào)整短路活塞，zui后在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球。
可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)：在基材（如硅片）上完成微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備種功能薄膜材料（如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn)、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學(xué)合成等實(shí)驗(yàn)；適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師。培養(yǎng)學(xué)生掌握等離子體的應(yīng)用。
本裝置需另配光學(xué)顯微鏡、超聲波清洗機(jī)、氣源。隨機(jī)配備基材、金剛石微粉。
主要特點(diǎn)：
1 內(nèi)部電，可避免放電污染，運(yùn)行氣壓范圍寬，能量轉(zhuǎn)換效率高，可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體。
2 設(shè)有垂直交叉的兩個(gè)方向的透明觀察窗，可直觀觀察等離子體的放電特性。
3 微波等離子體刻蝕精度達(dá)到亞微米。制備種功能薄膜材料的速率較快。
主要參數(shù)及性能：
1、微波源：功率0~800W連續(xù)可調(diào)輸出；
2、真空系統(tǒng)：采用旋片真空泵，單相220V交流電源，限真空6×10-1帕，抽速2升/秒；真空計(jì)采用數(shù)顯壓阻式真空計(jì)和熱偶真空計(jì)聯(lián)合作用，用于測(cè)量本底真空和工作時(shí)的工作氣壓。真空密封采用金屬和橡膠密封；真空調(diào)節(jié)采用隔膜閥粗調(diào)和微調(diào)閥精細(xì)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)快速方便、穩(wěn)定性好。
3、供氣系統(tǒng)：有兩路立供氣氣路，通過轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制流量。
4、自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水。制冷系統(tǒng)可冷卻水溫度在30度以下，水源要求。
5、微波傳輸及微波諧振腔：配有環(huán)行器、水負(fù)載和三螺釘阻抗調(diào)配器，可微波源的工作；配有微波反射測(cè)量系統(tǒng)，等離子體zui大限度地吸收微波能。反應(yīng)室工作壓強(qiáng)：幾帕～十千帕；反應(yīng)室限壓強(qiáng)：6×10-1帕；真空反應(yīng)室石英管腔體尺寸：Φ50mm；基片溫度范圍：200～1000℃；電磁波功率：0～800W；接地線＜3Ω。