功能薄膜特性測(cè)試儀 型號(hào):UKSY-5 | 貨號(hào):ZH9392 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介 本測(cè)試儀是多用途綜合測(cè)量裝置,開(kāi)展半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。由四探針測(cè)試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x組成。四探針測(cè)試儀由主機(jī)、測(cè)試架等部分組成,測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。主機(jī)主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度 恒流源組成。非晶硅薄膜電導(dǎo)率測(cè)量?jī)x由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測(cè)量系統(tǒng)等部分組成。 測(cè)量范圍: 電阻范圍:1×106~1×1017Ω; 電 阻 率:0.001~200Ωcm 電 導(dǎo) 率:0.005~1000s/cm 可測(cè)晶片直徑: 200mmX200mm 探 針:碳化鎢或高速鋼 探針間距:1±0.01mm 針間緣電阻:≥1000MΩ 機(jī)械游移率:≤0.3% 本底真空度:≤10Pa 氣壓可控范圍:10~400Pa 襯底加熱 溫度:室溫~200℃ |