| ZH440型四探針電阻率測試儀-紅寶石探針頭 型號：ZH440 |
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| 用途 測量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率，測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。 測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。 產(chǎn)品特點(diǎn) 1.使用幾何尺寸的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。 2.控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，探針的小游移率。 3.采用的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有立、準(zhǔn)確的壓力。 4.量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨。 探針間距 直線四探針:1.00mm、1.27mm、1.59mm 方形四探針:1.00mm 直線三探針:1.00mm、1.27mm、1.59mm 兩探針:1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 指標(biāo) 游移率 B＜0.5% A＜0.3% AA＜0.2% AAA＜0.1% 間距偏差 B＜3% A＜2% AA＜2% AAA＜1% zui大針與導(dǎo)孔間隙：0.006mm 探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進(jìn)口碳化鎢）或高速鋼 探針壓力 標(biāo)準(zhǔn)壓力：6—10N（4根針總壓力）小壓力：1.2—5N（4根針總壓力） 1牛頓（N）=101.97克 針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層） 500V緣電阻：＞1000MΩ |
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