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當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>雷博科學儀器>>工業(yè)半導體設備>> SH200勻烤膠一體機
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產(chǎn)品型號:SH200
品 牌:其他品牌
廠商性質(zhì):代理商
所 在 地:上海市
更新時間：2025-03-13 08:38:42瀏覽次數(shù)：2405次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 應用領(lǐng)域 | 化工 | 旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 20-5000rpm(可選最大10000rpm |
|---|---|---|---|
| 加速度范圍 | 20-20000rpm/s | 轉(zhuǎn)速精度 | ±1rpm |
| 光刻膠嘴數(shù)量 | ≤4路 | 勻膠工藝配方 | ≤ 100組(每組≤ 100步) |
| 熱板參數(shù) | 控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1% | 設備尺寸 | 1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H) |
勻烤膠一體機
產(chǎn)品介紹
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元(FFU)
產(chǎn)品參數(shù)
旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選最大10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)
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