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kashiyama MU系列 真空泵
  • kashiyama MU系列 真空泵
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更新時(shí)間：2025-04-22 09:25:47

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kashiyama MU系列 真空泵
·在蝕刻等中等負(fù)載工藝中實(shí)現(xiàn)低功耗表現(xiàn)
·占地面積較同類 20,000L/min 泵縮小約 35%
·增強(qiáng)工藝耐久性并提高能源效率
·符合各種標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范產(chǎn)品規(guī)格
·升級(jí)的工藝耐久性與節(jié)能性能

kashiyama MU系列 真空泵


kashiyama MU系列 真空泵特點(diǎn)：


·在蝕刻等中等負(fù)載工藝中實(shí)現(xiàn)低功耗表現(xiàn)
·占地面積較同類 20,000L/min 泵縮小約 35%
·增強(qiáng)工藝耐久性并提高能源效率
·符合各種標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范產(chǎn)品規(guī)格

·升級(jí)的工藝耐久性與節(jié)能性能

·產(chǎn)品符合多項(xiàng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范


kashiyama MU系列 真空泵


kashiyama MU系列 產(chǎn)品規(guī)格


型號(hào)
MUP600E
MUP1200E
MUP1800E
MUH3000
最大排氣速度（l/min）
10000
19000
30000
50000
極限壓力(Pa)
0.5
電源(50/60Hz)
3P AC200-220V
功率(kW)
0.8
0.95
1.1
1.6
冷卻水量/N2量
2l/min



氮?dú)獯祾?/span>
0-45
0-60
外形尺(LWH)mm
695×285×655
850x380x950
910X420X900



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