薄膜沉積控制儀利用原子層沉積制備高質(zhì)量薄膜材料，前驅(qū)體需滿足良好的揮發(fā)性、足夠的反應(yīng)活性以及一定熱穩(wěn)定性，前驅(qū)體不能對(duì)薄膜或襯底具有腐蝕或溶解作用，前驅(qū)體脈沖時(shí)間需保證單層飽和吸附，沉積溫度應(yīng)保持在窗口內(nèi)，以避免因前驅(qū)體冷凝或熱分解等引發(fā)CVD生長(zhǎng)從而使得薄膜不均勻。
　　含塵氣體進(jìn)入濾筒除塵器灰斗后，由于氣流斷面突然擴(kuò)大，氣流中一部分顆粒粗大的塵粒在重力和慣性力作用下沉降下來(lái)，粒度細(xì)、密度小的塵粒進(jìn)人濾筒收塵器過(guò)濾室后，通過(guò)布朗擴(kuò)散和篩濾等綜合效應(yīng)，使粉塵沉積在濾料表面，凈化后的氣體進(jìn)入凈氣室由排氣管經(jīng)風(fēng)機(jī)排出。
　　當(dāng)脈沖閥開(kāi)啟時(shí)，氣包內(nèi)的壓縮空氣通過(guò)脈沖閥經(jīng)噴吹管上的小孔噴射出一股高速、高壓的引射氣流，從而形成一股相當(dāng)于引射氣流體積1～2倍的誘導(dǎo)缺陷流，一同進(jìn)入除塵濾筒內(nèi)，薄膜沉積控制儀使粉塵濾筒內(nèi)出現(xiàn)瞬間正壓并產(chǎn)生鼓脹和微動(dòng)；沉積在濾料上的粉塵脫落，掉入灰斗內(nèi)，灰斗內(nèi)的粉塵通過(guò)卸料器，連續(xù)排出。氣流中的一部分大顆粒、密度大的粉塵及凝聚塵粒在離心力、及重力作用下沿筒壁旋落灰斗，粒度細(xì)、密度小的微小塵粒懸浮于氣體中通過(guò)氣流分布裝置，均勻進(jìn)入過(guò)濾室中彌散于濾袋間隙，通過(guò)濾袋表面的慣性碰撞、篩濾等作用而沉積在濾袋表面，凈化氣體由主風(fēng)機(jī)排出。