整合了Nucleus PlusTM 技術(shù)，薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎(chǔ)上建立了溫度測量薄膜

控制系統(tǒng)。支持?jǐn)U展4個輸入輸出口和探頭（2個標(biāo)準(zhǔn)儀器），實時的頻率-溫度曲線

和500℃操作晶體。傳統(tǒng)的檢測和測量手段由于忽視了晶體溫度的變化帶來了極大的

誤差，通常誤差為10%，在錯誤的環(huán)境下誤差可以為*。菲利浦通過監(jiān)測實時的溫

度變化，從而對薄膜進行高精度極低誤差控制。

薄膜沉積控制儀有非常高的穩(wěn)定度和菲利浦產(chǎn)品慣有的精密度。6MHz（AT or RC

）的石英晶體*的應(yīng)用在了薄膜沉積領(lǐng)域。

功能齊全

可擴展的額外組件比如前面板的外部控制界面和后面板的探頭、I/O卡。Millennium 控制系統(tǒng)包含一個過溫控制繼電器（以防探頭冷卻失靈）和輸入/輸出的可編輯性，給您全部的軟件功能控制。

技術(shù)參數(shù)

探頭2個BNC 連接端（需要外部振蕩器）

溫度2 type K TC

輸入源2 0-5 VDC 輸入控制

繼電器（不可編輯） 2個單刀單擲開關(guān)

輸入端（可編輯） 8個獨立的5V輸入端

輸出端（可編輯） 8個5A單刀單擲開關(guān)繼電器

遠(yuǎn)程電源手動電源控制-前面板FOB連接頭

可擴展輸入源卡2個輸入源、探頭、繼電器和type K TC

輸入：8個獨立的5V輸入端

輸出：8個5A單刀單擲

DAC 記錄器可根據(jù)用戶的選擇出發(fā)

參數(shù)用戶可以擴展 0-5V輸出速率和厚度

測量參數(shù)

頻率分辨率0.001Hz@6MHz(1s一個點）

采樣率0.5Hz to 100Hz

傳感器晶體頻率5,6,7,8,9,10MHz

顯示參數(shù)

厚度（自動量程） 9999.9 to -999 kA

速率 (自動量程) 9999.9 to -999 A

電源00.00 to 99.99%

時間0 to 99:59:59 HH:MM:SS

層數(shù)0 to 999

屏幕800x480 Full Color Touch Screen

標(biāo)準(zhǔn)硬件

可擴展I/O卡

連接參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)方式：RS232  USB(Process Programming)

可選方式：以太網(wǎng)

創(chuàng)建程序：所有程序可以通過觸摸屏和鍵盤編輯CactusProg 

可以在PC上創(chuàng)建菜單并可以通過U盤等閃存轉(zhuǎn)移性能無限制的操作選項和編程

性能     無限制的操作選項和編程

標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)

PTTC-RM QUARK主機+1個探頭+1個輸入輸出口

PTTC-RM2 QUARK主機+2個探頭+1個輸入輸出口

PTTC-RM4 QUARK主機+2個探頭+2個輸入輸出口

PTTC-RME1 QUARK主機+1個探頭+2個輸入輸出口+以太網(wǎng)

PTTC-RME2 QUARK主機+2個探頭+1個輸入輸出口+以太網(wǎng)

PTTC-RME4 QUARK主機+2個探頭+2個輸入輸出口+以太網(wǎng)