詳細(xì)介紹
德國PI小型線性平臺Q-521、Q-522、Q-545
Q-521 Q-Motion®小型線性平臺
帶位置控制、分辨率高、價格實惠的最小線性平臺
寬僅21毫米、高僅10毫米
編碼器分辨率高達(dá)1納米
帶接裝板或支架(作為選配件提供)的多軸系統(tǒng)裝置
采用集成式增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
最小位移高達(dá)2納米
適用于高達(dá)10-6百帕的真空環(huán)境,還可提供用于真空達(dá)10-9百帕的版本
壓電慣性驅(qū)動器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器,其保持力相對較大,行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹,移動轉(zhuǎn)子。由于其慣性,轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮,停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時,驅(qū)動直接作用在動輪上,實現(xiàn)最大為10毫米/秒的速度。
真空和無磁性環(huán)境
所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作,真空可達(dá)10-6 百帕。此外,適用于10-9 百帕的超高真空變型也可供貨。可按需提供無磁性版本。
直接測量原理
可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米,取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點開關(guān)。
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試
訂購信息
Q-521.100 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為12毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.130 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為12毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.140 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為12毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕 Q-521.14U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為12毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-521.200 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為22毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.230 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為22毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.240 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為22毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.24U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為22毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-521.300 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為32毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.330 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為32毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.340 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為32毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-521.34U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為32毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為21 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
德國PI小型線性平臺Q-521、Q-522、Q-545
Q-522 Q-Motion®小型線性平臺
小尺寸、高分辨率、價格實惠的壓電電機(jī)
寬僅22毫米、高僅10毫米
最小位移高達(dá)2納米
安裝無需轉(zhuǎn)接器的Q-622轉(zhuǎn)臺
采用分辨率高達(dá)1納米的增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
不帶轉(zhuǎn)接器的XY向安裝
適用于高達(dá)10-6百帕的真空環(huán)境,還可提供用于真空達(dá)10-9百帕的版本
壓電慣性驅(qū)動器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器,其保持力相對較大,行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹,移動轉(zhuǎn)子。由于其慣性,轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮,停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時,驅(qū)動直接作用在動輪上,實現(xiàn)最大為10毫米/秒的速度。
真空和無磁性環(huán)境
所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作,真空可達(dá)10-6百帕。此外,適用于10-9百帕的超高真空版本也可供貨??砂葱杼峁┓谴判园姹?/span>
直接測量原理
可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為4納米或1納米,取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點開關(guān)
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試
訂購信息
Q-522.000 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為6.5毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10 -6 百帕
Q-522.00U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為6.5毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.030 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為6.5毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.040 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為6.5毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.04U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為6.5毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.100 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.10U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.130 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.140 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.14U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.200 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.20U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為1牛,尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.230 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,線性編碼器,分辨率為4納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.240 Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.24U Q-Motion® 小型線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為1牛,尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
德國PI小型線性平臺Q-521、Q-522、Q-545
Q-545 Q-Motion®精密線性平臺
壓電電機(jī)可實現(xiàn)高力和小巧設(shè)計
寬度僅為45 毫米
帶位置分辨率的增量傳感器
真空兼容至10-6百帕 (Q-545.xx0)
推/拉力為8 牛
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-9百帕 (Q-545.xxU)
壓電慣性驅(qū)動器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器,其保持力相對較大,行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹,移動轉(zhuǎn)子。由于其慣性,轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮,停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時,驅(qū)動直接作用在動輪上,實現(xiàn)最大為10毫米/秒的速度。
真空和無磁性環(huán)境
所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作,真空可達(dá)10-6 百帕。此外,適用于10-9 百帕的超高真空版本也可供貨??砂葱杼峁┓谴判园姹?/span>
直接測量原理
可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為1 納米。帶編碼器的版本具有參考點開關(guān)
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試
訂購信息
Q-545.100 Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-545.10U Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10 -9 百帕
Q-545.140 Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-545.14U Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為13毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-545.200 Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-545.20U Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-545.240 Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕 Q-545.24U
Q-Motion® 線性平臺,壓電慣性驅(qū)動,行程為26毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕