德國(guó)FUG高壓電源HCL14- 3500?
納米范圍內(nèi)的最小結(jié)構(gòu)形成在半導(dǎo)體或其他基板上。要求類似于電子顯微鏡,但對(duì)于光刻,電子束電流的調(diào)節(jié)必須覆蓋較大的功率范圍。 20 kV-70 kV,低電流(mA),輔助電源,非常高的穩(wěn)定性,低紋波。
功率半導(dǎo)體:
通常必須測(cè)試組件的介電強(qiáng)度,電流路徑和開(kāi)關(guān)行為。范圍800V-20,000V,最高10kW,高/高電流脈沖最高3000A。大電流脈沖發(fā)生器,最大輸出電流為3000A。
冷凝器測(cè)試儀/成型系統(tǒng):
必須測(cè)試電容器的介電強(qiáng)度,并且必須在制造過(guò)程中或以后使用時(shí)形成電容器。范圍是800V-20,000V,最高10kW。
半導(dǎo)體生產(chǎn)需要高度精確的集成電源。它由FuG電源保證。在這里,以及基本或?qū)I(yè)系列中都使用了定制的解決方案,例如離子注入,光刻和顯微鏡檢查。電容器必須在制造過(guò)程中以及使用期間的一定間隔內(nèi)進(jìn)行介電強(qiáng)度測(cè)試和模制
德國(guó)FUG高壓電源HCL14- 3500
FUG高壓電源型號(hào)HCL系列:
FUG高壓電源HCL350- 20000,
FUG高壓電源HCL14- 3500,
FUG高壓電源HCL35- 3500,
FUG高壓電源HCL140- 3500,
FUG高壓電源HCL350- 3500,
FUG高壓電源HCL14- 6500,
FUG高壓電源HCL14- 20000,
FUG高壓電源HCL35- 6500,
FUG高壓電源HCL140- 20000,
FUG高壓電源HCL140- 6500,
FUG高壓電源HCL350- 6500,