詳細(xì)介紹
德國PI Q-545 精密線性平臺(tái)
Q-545 Q-Motion®精密線性平臺(tái)
壓電電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高力和小巧設(shè)計(jì)
寬度僅為45 毫米
帶位置分辨率的增量傳感器
真空兼容至10-6百帕 (Q-545.xx0)
推/拉力為8 牛
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-9百帕 (Q-545.xxU)
德國PI Q-545 精密線性平臺(tái)
壓電慣性驅(qū)動(dòng)器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器,其保持力相對(duì)較大,行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動(dòng)原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹,移動(dòng)轉(zhuǎn)子。由于其慣性,轉(zhuǎn)子無法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮,停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí),驅(qū)動(dòng)直接作用在動(dòng)輪上,實(shí)現(xiàn)大為10毫米/秒的速度。
真空和無磁性環(huán)境
所有Q-Motion®線性平臺(tái)都適用于高真空中的操作,真空可達(dá)10-6 百帕。此外,適用于10-9 百帕的超高真空版本也可供貨??砂葱杼峁┓谴判园姹?/span>
直接測(cè)量原理
可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為1 納米。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)開關(guān)
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對(duì)準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測(cè)試
德國PI Q-545 精密線性平臺(tái)
訂購信息
Q-545.100 Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為13毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-545.10U Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為13毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10 -9 百帕
Q-545.140 Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為13毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-545.14U Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為13毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-545.200 Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為26毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-545.20U Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為26毫米,不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-545.240 Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為26毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕 Q-545.24U
Q-Motion® 線性平臺(tái),壓電慣性驅(qū)動(dòng),行程為26毫米,線性編碼器,分辨率為1納米,推/拉力為8牛,尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
德國PI Q-545 精密線性平臺(tái)