我司專業(yè)銷售Parker派克閥門，今天介紹的是Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo閥門。Parker派克SMSQ2Micro減壓閥用于狹小空間需要精確壓力控制的UHP超高純使用點(diǎn)應(yīng)用。提供優(yōu)秀的可靠性和泄露完整性，使其成為關(guān)鍵的半導(dǎo)體操作的理想選擇。訂貨號(hào)：45800978-2 型號(hào)：SMSQ2MICRO130E60102是我司現(xiàn)貨產(chǎn)品。

　　Parker派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場(chǎng)上*微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.

　　減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設(shè)計(jì)，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

　　Parker派克SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean? 316L不銹鋼。Vericlean? 是派克公司的UHP超高純級(jí)不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22?。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計(jì)特點(diǎn)相結(jié)合，使SMSQ2Micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250.

　　SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.

　　SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.

　　Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列市場(chǎng):

　　?半導(dǎo)體

　　?分析試驗(yàn)室

　　?制藥

　　?生物制藥

　　?航空航天

　　?工業(yè)

　　特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):

　　?有C 和 W密封貼面安裝1-1/8和1-1/2

　　Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo閥體尺寸

　　?極低粒子數(shù)

　　?束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性

　　?SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

　　?出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig

　　?內(nèi)漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

　　?外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

　　?5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理

　　?工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

　　應(yīng)用:

　　?腐蝕性和特殊氣體

　　?半導(dǎo)體工具

　　?工具掛鉤

　　?氣體柜

　　?閥組箱 (VMB)

　　Parker派克漢尼汾調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo閥門優(yōu)點(diǎn):

　　- 符合SEMI模塊化接口規(guī)范

　　- 易于部件改裝

　　- 標(biāo)準(zhǔn)的哈氏合金C-22? 提升閥芯和膜片

　　- 占地面積小，可與Veriflo Quantum閥門的間距相同

　　- 標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光

　　- 沒有彈簧或螺紋暴露在濕潤(rùn)區(qū)域中

　　- 極低的顆粒數(shù)

　　- 有0.06和0.15 Cv兩種規(guī)格可供選擇

　　Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo閥門相關(guān)型號(hào)：

　　訂貨號(hào)        流體容量（Cv）  壓力范圍（psig）      型號(hào)

　　45800745-1     0.06          30 psig          SMSQ2MICRO30102

　　54015923-1     0.06          30 psig          SMSQ2MICRO30602

　　45800745-2     0.06          60 psig          SMSQ2MICRO60102

　　54015923-2     0.06          60 psig          SMSQ2MICRO60602

　　45800978-1     0.15          30 psig          SMSQ2MICRO130E30102

　　45800978-2     0.15          60 psig          SMSQ2MICRO130E60102

　　54016395-2     0.15          60 psig          SMSQ2MICRO130E60602

　　另外還有一個(gè)SMSQ2MICRO130E30602獨(dú)立型號(hào)。45800978-2

Parker派克調(diào)壓閥SMSQ2Micro系列Veriflo