Parker派克派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
派克漢尼汾的930系列采用不與過(guò)程流體接觸無(wú)螺紋或彈簧設(shè)計(jì),可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導(dǎo)體應(yīng)用中必布可少的工藝污染。該系列閥門(mén)的嚴(yán)格設(shè)計(jì),控制閥座和隔膜應(yīng)力,以提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。Parker派克930系列閥門(mén)潤(rùn)濕部件由特種金屬制成,提供桌越的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克的UHP級(jí)不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹(shù)脂(PEEK® )和聚酰亞胺(Vespel®)材質(zhì)的閥座,可使930閥門(mén)與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合Parker派克930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn),給予了美國(guó)Parker派克930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。
Parker派克930系列氣動(dòng)閥可以配置限位開(kāi)關(guān)或接近開(kāi)關(guān),用以提供開(kāi) - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選,包括派克930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
Parker派克930系列閥門(mén)上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過(guò)質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測(cè)試,以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中,保有其性能和穩(wěn)定性。
●標(biāo)準(zhǔn)表面處理5微英寸Ra ●內(nèi)部無(wú)螺紋,無(wú)彈簧
●從真空到300psig都能正常工作 ●高循環(huán)壽命(包括腐蝕性服務(wù))。
●100%氦氣泄漏測(cè)試 ●標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電鍍
●最小的顆粒產(chǎn)生和顆粒夾帶區(qū)域
Vericlean™ ,Veriflo的低硫高純度316L不銹鋼增強(qiáng)了電拋光、焊接和抗腐蝕能力
市場(chǎng):
√半導(dǎo)體
√分析實(shí)驗(yàn)室
√制藥
√生物制藥
√航空航天
√工業(yè)
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):
√電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
√高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務(wù))
√內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
√全壓力范圍使用:從真空到300 psig
√內(nèi)部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
√外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
√AOP驅(qū)動(dòng),額定壓力為75 psig
應(yīng)用:
√腐蝕性氣體和特種氣體
√半導(dǎo)體工具
√工具連接
√燃?xì)夤?/p>
√閥組箱(VMB)
Vespel®是杜邦高性能彈性體L.L.C.公司(DuPont Performance Elastomers L.L.C.)的注冊(cè)商標(biāo)。
Vericlean™ 是派克漢尼汾公司(Parker Hannifin Corporation)的商標(biāo)
PEEK™ 是威格斯公司(Victrex plc)的商標(biāo)。
Parker派克UHP隔膜閥930系列現(xiàn)貨銷(xiāo)售尺寸圖:
Parker派克UHP隔膜閥930系列現(xiàn)貨銷(xiāo)售先關(guān)型號(hào):
45700048
45700047
45700041
45700372
45700207
45700373
45900260
45700051
45700154
54011671
45901320
54011831
930AOPLP1NCSFSFM
930AOPLP1NCSFSMF
930AOPLP1NCSFSMM
54011226
54016192
930AOPLPNOSFSMF
930AOPLPNOSFSMM
45700506
54014915
54014963
45700507
54011152
54021913
54023885
930ISFSMF
54021915
930ISTS
54021821
930KSFSFM
930KSFSMF
930KSFSMM
54021150
930LPHYSFSFF
930LPHYSFSFM
930LPHYSFSMF
930LPHYSFSMM
930LPHYSTS
45700186
45700405
45700182
45800447
45800274
45700661
Parker派克930系列閥門(mén)是為半導(dǎo)體OEM和工藝晶圓制造的超高純度應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。
Parker派克930系列有多種手動(dòng)操作器和氣動(dòng)執(zhí)行器可供選擇。氣動(dòng)執(zhí)行器提供LP(125 PSI)或MP(300 PSI)的操作范圍。
手動(dòng)閥和AOPMP(中壓)閥的工作壓力均為300psig,為該產(chǎn)品系列提供了更大的應(yīng)用范圍。