Thermo Scientific™Verios™ XHR SEM掃描電子顯微鏡（SEM）旨在提高您實(shí)驗(yàn)室的可發(fā)布結(jié)果。Verios SEM通過(guò)將整個(gè)1 keV至30 keV能量范圍內(nèi)的亞納米分辨率擴(kuò)展到新型材料，例如催化劑顆粒，納米管，孔隙，界面，生物物體和其他納米級(jí)結(jié)構(gòu)，從而提供了新的見解。無(wú)需過(guò)渡到TEM或其他成像技術(shù)即可獲得高分辨率，高對(duì)比度的圖像。

Verios SEM提供了研究應(yīng)用所需的靈活性，可容納大型樣品，例如整片晶圓或冶金樣品。Verios SEM可在1至30 kV能量范圍內(nèi)以亞納米級(jí)分辨率提供精確的成像。它提供了在各種應(yīng)用中對(duì)材料進(jìn)行精確測(cè)量所需的出色對(duì)比度，而又不影響傳統(tǒng)SEM的高通量，分析能力，樣品靈活性和易用性。Verios SEM具有*的技術(shù)，例如用于提高熱穩(wěn)定性的定焦鏡和用于更高偏轉(zhuǎn)線性的靜電掃描。在選擇參數(shù)，處理大型樣品或支持其他應(yīng)用程序（例如分析或光刻）時(shí)，它非常靈活。利用Verios XHR SEM，偶爾的用戶和專家都可以在短的時(shí)間內(nèi)訪問(wèn)準(zhǔn)確而完整的納米級(jí)數(shù)據(jù)。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 使用Elstar™單色儀以及優(yōu)化的光學(xué)器件和檢測(cè)功能，可以在您的樣品要求的操作條件下獲得準(zhǔn)確，真實(shí)的納米級(jí)信息：對(duì)于非導(dǎo)電樣品，其值為500 eV及以下；對(duì)于光束敏感樣品，則為低劑量操作。

? 收集完整的納米級(jí)信息：得益于Elstar*的四重SE / BSE檢測(cè)和過(guò)濾功能，地形和材料形成了對(duì)比，得益于我們*的多段STEM技術(shù)，在結(jié)構(gòu)上形成對(duì)比。

? 使用Elstar的精確靜電束偏轉(zhuǎn)和*進(jìn)的校準(zhǔn)方法，可以依靠遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出普通SEM的精確計(jì)量。

? 體驗(yàn)快速，精確的樣品管理：容納大型樣品，可控地清潔樣品表面，以極低的放大倍數(shù)快速檢查并導(dǎo)航到感興趣的區(qū)域。

? 使用電子束光刻技術(shù)，電子束誘導(dǎo)的材料直接沉積，執(zhí)行創(chuàng)新且精確的納米加工，并在上下或傾斜位置檢查創(chuàng)建的3D結(jié)構(gòu)。

? 發(fā)現(xiàn)一個(gè)針對(duì)簡(jiǎn)單用戶而優(yōu)化的平臺(tái)，它具有簡(jiǎn)單而強(qiáng)大的界面，以及可以依靠?jī)x器的靈活性和擴(kuò)展控件來(lái)針對(duì)特定實(shí)驗(yàn)精確調(diào)整儀器的SEM專家。 

 

參數(shù)

 電子光學(xué)器件

Elstar XHR 浸沒(méi)透鏡 FESEM 鏡筒

? Elstar 電子槍，配有：

  - 肖特基熱場(chǎng)發(fā)射體

  - 熱拔插功能

  - UC 技術(shù)（單色儀）

? 60 度雙物鏡（帶極片保護(hù)）

? 加熱的物鏡孔隙

? 靜電掃描

? ConstantPower™ 透鏡技術(shù)

源壽命

? 電子源壽命：12個(gè)月

電子束分辨率

（需要現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查以保證分辨率規(guī)格）

? 工作距離下的分辨率

  - 30 kV 時(shí)為 0.6 nm (STEM)

  - 15 kV 時(shí)為 0.6 nm

  - 2 kV 時(shí)為 0.6 nm

  - 1 kV 時(shí)為 0.7 nm

  - 500 V 時(shí)為 1.0 nm (ICD)

  - 200 V 時(shí)為 1.2 nm (ICD)

大水平場(chǎng)寬

? 電子束：在 4 mm 工作距離下大于2.0 mm

實(shí)際到達(dá)能量范圍

? 20 eV - 30 keV

探針電流

? 電子束：0.8 pA - 100 nA

真空系統(tǒng)

? 1 x 210 l/s TMP

? 1 x PVP（干式泵）

? 2 x IGP

? 樣品倉(cāng)真空：< 2.6 * 10-6 mbar（24小時(shí)抽氣后）

探測(cè)器

? Elstar 透鏡內(nèi) SE 探測(cè)器 (TLD-SE)

? Elstar 透鏡內(nèi) BSE 探測(cè)器 (TLD-BSE)

? Elstar 鏡筒內(nèi) SE 探測(cè)器 (ICD)

? Elstar 鏡筒內(nèi) BSE 探測(cè)器 (MD)

? Everhart-Thornley SE 探測(cè)器 (ETD)

? 用于查看樣品/鏡筒的 IR 攝像頭

? 安裝在樣品倉(cāng)的 Nav-Cam+™

? 伸縮式低壓、高襯度固態(tài)背散射電子探測(cè)器 (DBS)

? 帶有 BF/DF/HAADF 分段的伸縮式

STEM 探測(cè)器*

? 集成電子束電流測(cè)量

樣品倉(cāng)

? 4 mm 工作距離下的電子束和EDS 重合點(diǎn)

? 21 個(gè)端口

超高精度 5 軸壓電式電動(dòng)載物臺(tái)

? X、Y = 100 mm

? Z ≥ 20 mm

? T = - 10°至 + 60°

? R = n x 360°行程

? X、Y 可重復(fù)性 0.5μm

? X、Y 準(zhǔn)確度 < 1.5μm，85% 容差區(qū)間

? 機(jī)械式傾斜共心載物臺(tái)，傾斜角度為 0°到 52°時(shí)圖像移動(dòng)小于5μm

? 中心旋轉(zhuǎn)和傾斜

樣品尺寸

? 大尺寸：直徑 100 mm，旋轉(zhuǎn)

? 大樣品厚度（通過(guò)裝載鎖）：19 mm（含支架）

? 大樣品厚度（通過(guò)樣品倉(cāng)門）：27.8 mm（含樣品支架）

? 重量：200g（含支架）

樣品支架

? 多樣品臺(tái)支架

? 多樣品切片支架

? 單樣品臺(tái)底座，直接安裝在載物臺(tái)上

? 根據(jù)要求提供各種晶圓和定制支架

? 配備 -50V至-4 kV 的載物臺(tái)偏置的電子束減速

? 集成的快速電子束熄滅裝置

圖像處理器

? 駐留時(shí)間范圍為 0.025 到25000 μs/像素

?  6144 x 4096 像素

? 文件類型：TIFF（8、16、24 位）、BMP或JPEG

? 單幀或四象限圖像顯示

? SmartSCAN（256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描）和DCFI（漂移補(bǔ)償幀積分）

系統(tǒng)控制

? 32位GUI（使用 Windows® XP）、鍵盤、光電鼠標(biāo)

? 兩臺(tái) 24 英寸寬屏 LCD 顯示屏，WUXGA 1,920 x 1,200像素

? 顯微鏡控制和支持計(jì)算機(jī)無(wú)縫共用一個(gè)鍵盤和鼠標(biāo)

? 操縱桿

? 多功能控制臺(tái)

? 遠(yuǎn)程控制

產(chǎn)品料號(hào)	產(chǎn)品貨號(hào)	*產(chǎn)品名稱	*產(chǎn)品規(guī)格
TFE000052	TFE000052	Verios XHR SEM掃描電鏡	Verios XHR SEM