1.電阻

10^-5～2×10^5Ω

2.方塊電阻

10^-5～2×10^5Ω/□

3.電阻率

10^-6～2×10^6Ω-cm

4.測(cè)試電流

0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100mA

5.電流精度

±0.1%

6.電阻精度

≤0.3%

7.PC軟件操作

PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數(shù)據(jù)管理分析：過(guò)程數(shù)據(jù)，大、小值，均值，方差，變異系數(shù)，樣品編號(hào)，測(cè)試點(diǎn)數(shù)統(tǒng)計(jì)報(bào)表生成等

8.探針范圍選購(gòu)：

探針壓力為100-550g；依據(jù)樣品接觸需要手動(dòng)調(diào)節(jié)

9.探針

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%

圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制

10.可測(cè)晶片

尺寸選購(gòu)

晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

自動(dòng)或手動(dòng)單點(diǎn)模式

12.加壓方式

測(cè)量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% 

13.防護(hù)功能

具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)

14.測(cè)試環(huán)境

實(shí)驗(yàn)室環(huán)境

15.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W

16.選購(gòu)項(xiàng)目

電腦和打印機(jī)