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| 大樣品室版電子顯微鏡 | 大樣品室版電子顯微鏡Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom XL |
| 光學放大 | 20 - 135 X | 20 - 135 X | 3 - 16 X |
| 電子光學放大 | 80 - 150,000 X | 80 - 150,000 X | 80 - 100,000 X |
| 分辨率 | 優(yōu)于 8 nm | 優(yōu)于 8 nm | 優(yōu)于 14 nm |
| 數(shù)字放大 | Max. 12 X | Max. 12 X | Max. 12 X |
| 光學導(dǎo)航相機 | 彩色 | 彩色 | 彩色 |
| 加速電壓 | 5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào) | 5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào) | 5 Kv - 20 Kv 連續(xù)可調(diào) |
| 真空模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 |
| 降低荷電效應(yīng)模式 | 降低荷電效應(yīng)模式 | 降低荷電效應(yīng)模式 | |
| 高真空模式 | |||
| 探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器 |
| 二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | 二次電子探測器 (選配) | |
| 樣品尺寸 | 大直徑 32 mm (Ø) | 大直徑 32 mm (Ø) | 大 100 mm X 100 mm |
| 可同時裝載 36 個 0.5 英寸樣品臺 | |||
| 樣品高度 | 高 100 mm | 高 100 mm | 高 65 mm |
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