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D07-19BM質(zhì)量流量控制器
主要技術(shù)指標(biāo) 型號 D07-19B 1 流量規(guī)格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 2 準(zhǔn)確度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 3 線性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 4 重復(fù)精度 ±0.2 % F.S. 5 響應(yīng)時間
D07-19BM質(zhì)量流量控制器 特 點: ★高精度,快響應(yīng)型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭 ★兼容用 途: 質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
型號 D07-19B 7 耐壓 10 MPa (1450.4 psig) 8 工作環(huán)境溫度5 ℃ ~ 45 ℃ 注意: |
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