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PG15-J型激光平面干涉儀
激光平面干涉儀 PG15-J詳細(xì)介紹
一、激光平面干涉儀 PG15-J參數(shù)
*標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),不鍍膜。 工作直徑 | D1=Φ146mm,不平度小于0.02μm(λ/30) |
第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),不鍍膜。 工作直徑 | D2=Φ140mm,不平度小于0.03μm(λ/20) |
準(zhǔn)直系統(tǒng) | D1=Φ146mm |
工作直徑 | f=400mm |
測微目鏡 | 焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場角2w=40o,成像物鏡:I、D=4.5;П、D=7;Ш、D=10,f=16,f=23,f=37 |
干涉室尺寸 | 深260*寬300*190mm |
光源規(guī)格 | 激光ZN18(He-Ne) |
外形尺寸 | 長*寬*高 350*400*720mm |
重量 | 100公斤 |
PG15-J型激光平面干涉儀
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