紫外臭氧清洗機(jī)具有干洗處理、無需真空處理、無破壞燈特長，紫外線燈和照射裝置的高輸出照射技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了以往用溶劑或超聲波清洗液難以達(dá)到的高品質(zhì)、高速處理效果。為客戶能制造出更高品質(zhì)的產(chǎn)品而提供紫外線清洗和紫外線改質(zhì)。
紫外臭氧清洗機(jī)的靈活性，能滿足有機(jī)分子去除和其他眾多領(lǐng)域的應(yīng)用?？梢灾苯釉诳諝庵胁僮?，也可通過兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)氣路中的一個(gè)接入氧氣，從而增加臭氧產(chǎn)量。PSD Pro系列紫外臭氧清洗機(jī)通過可編程數(shù)字控制器控制系統(tǒng)工作進(jìn)程，來確保清洗時(shí)間和各項(xiàng)參數(shù)的準(zhǔn)確性。是一種簡單，經(jīng)濟(jì)，快速的材料表面清洗設(shè)備，只需把樣品放置到樣品盤上，關(guān)上艙門，設(shè)置時(shí)間，并按運(yùn)行，就可以了，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。
紫外臭氧清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。
2.自動(dòng)補(bǔ)償功能，自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度，不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。
3.數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。
4.可隨時(shí)手動(dòng)中斷處理過程。
5.自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
6.樣品臺(tái)可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7.頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡單方便。
8.上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，360度自由放置樣品，操作方便。
9.樣品臺(tái)高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
10.UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時(shí)。
11.高強(qiáng)度UV燈源，波長185nm和254nm。
12.UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
13.雙重安全保護(hù)，當(dāng)清洗腔打開時(shí)，系統(tǒng)安全鎖會(huì)關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示。
14.帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。
15.UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。
16.可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。
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