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貨物所在地:北京北京市
更新時(shí)間:2024-06-10 21:00:07
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CIF-Spin Coater
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),數(shù)字式增速信號(hào)反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長(zhǎng),保證勻膠均勻。
u 5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,多100個(gè)階段。
u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
u 多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證安全;
蓋子自鎖功能,防止飛片蓋子彈開傷人;
雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
u 一機(jī)兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。
u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分) | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | 勻膠時(shí)間 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000S | 圓片Φ5-Φ100,方片大100x100 | 310x260x250 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)