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UVO13-紫外臭氧清洗機
  • UVO13-紫外臭氧清洗機
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更新時間:2024-08-05 11:39:22

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紫外臭氧清洗機(UVOzone Cleaner, UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)表面上的有機污染物。

                                         

觸屏式紫外臭氧清洗機產(chǎn)品特點

v UVO基礎(chǔ)型采用可編程數(shù)字控制器,設(shè)置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設(shè)置顯示計時時間及加熱溫度。

v 自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

v 數(shù)字倒計時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。

v 可隨時手動中斷處理過程。

v 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。

v 樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。

v 頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式,操作簡單方便。

v 上置式樣品臺設(shè)計,360度自由放置樣品,操作方便。

v 樣品臺高度可調(diào),通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。


觸屏式紫外臭氧清洗機


v UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。

v 高強度UV燈源,波長185nm和254nm。

v UV反射罩(長x寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

v 雙重安全保護,當清洗腔打開時,系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈,并有燈光通斷提示。

v 帶進&出氣口雙氣路設(shè)計,可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。

v UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器,用于臭氧清除。

v 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。

觸屏式紫外臭氧清洗機技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號

UV燈尺寸cm

樣品臺高度cm

主機重量kg

外型尺寸(LxWxH)cm

UVO13/UVO13P/UVO13T

33x33

5cm內(nèi)可調(diào)

18.5

70x60x20

注: UVO基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能,樣品臺高度可調(diào);UVOP可選配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調(diào)

UVOT標配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調(diào)。



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