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流量儀表: 熱式質(zhì)量流量控制器高壓質(zhì)量流量計熱式質(zhì)量流量計 ALICAT質(zhì)量流量計質(zhì)量流量控制器流量標定 Linetech質(zhì)量流量計 Porter質(zhì)量流量計 ALICAT質(zhì)量流量控制器微小流量質(zhì)量流量控制器工業(yè)用質(zhì)量流量計抗腐蝕質(zhì)量流量計電磁流量計渦輪流量計液體質(zhì)量流量控制器液體體積流量計液體質(zhì)量流量計氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量計

溫度儀表: 加熱帶

壓力儀表: WIKA不銹鋼壓力表智能數(shù)顯壓力控制器單閥壓力控制器雙閥壓力控制器壓力控制器壓力表/壓力變送器

管閥件: 不銹鋼管閥配件卡套管閥件球閥背壓閥減壓閥

分析測試儀表: 混氣儀配氣儀注射泵熱重分析儀電源 FLUKE流量校準設(shè)備流量校準設(shè)備其他

M3030A質(zhì)量流量控制器，韓國Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器耐壓90bar，可測量腐蝕性氣體，結(jié)構(gòu)緊湊，重復(fù)性高，響應(yīng)時間快，性價比高，可廣泛用于設(shè)備配套。韓國LINETECH經(jīng)濟型氣體質(zhì)量流量控制器Z大流量可測到300SLPM，質(zhì)量流量計的Z大流量可測到1000SLPM。

M3030A質(zhì)量流量控制器

一、M3030A質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點

測量質(zhì)量流量
無需溫度和壓力補償
結(jié)構(gòu)緊湊
精度高
工作壓力高
響應(yīng)時間快
重復(fù)性高

二、技術(shù)參數(shù)

型號	質(zhì)量流量計	質(zhì)量流量控制器
流量范圍(N2)	10SCCM~1000SLPM	10SCCM ~ 300slpm
響應(yīng)時間	<2 sec	<2 sec
精準度	≤±1% FS	≤±1% FS
重復(fù)精度	±0.25% FS	±0.25% FS
輸入/輸出信號	0~5 Vdc OR 4~20 mA	0~5 Vdc OR 4~20 mA
供電電源	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐壓	<90bar	0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar
工作環(huán)境溫度	0~50 °C	0~50 °C
漏率	1*10E-9 atm cc/sec	1*10E-9 atm cc/sec
使用范圍	2 ~ *	2~ *

三、接口尺寸

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