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Centrotherm 小批暈生產(chǎn)用垂直爐管CLV200,科研專屬

CLV200 小批暈生產(chǎn)用垂直爐管

I 適用于砫襯底的半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)

是一個(gè)獨(dú)立的小批量晶圓 生產(chǎn)設(shè)備，能實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)熱處理工藝，適用于少量生產(chǎn)及 研發(fā)。

工藝反應(yīng) 腔體及加熱系統(tǒng)有著*的設(shè)計(jì)， 升溫至 11 00 攝氏度。由于一爐尺寸較小（一批至多 50 片晶圓）， CLV 200 爐管能提供 非常靈活的常壓及低壓工藝，降低顧客研發(fā)費(fèi)用。

的設(shè)計(jì)在高效， 低耗上非常出色， 同時(shí)也具備了生產(chǎn)各種半導(dǎo)體器件的工藝靈活性。

E1200臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)

• 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

E1200型臥式熱反應(yīng)系統(tǒng)是由德國(guó)centrotherm公司研制的特為研發(fā)、小批量生產(chǎn)用熱反應(yīng)系統(tǒng)。具有小體積、高工藝性能等特點(diǎn)

可用作常壓CVD、LPCVD、PECVD、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝過(guò)程，以優(yōu)良的品質(zhì)、極小的體積、低成本的特點(diǎn)，特別適合低產(chǎn)量、多工藝適應(yīng)性加工要求的研發(fā)或小批量生產(chǎn)。