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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> DX-多功能X射線衍射/反射儀
Jordan Valley公司 設(shè)計(jì)的Delta-X是多功能的X射線衍射設(shè)備,可靈活應(yīng)用于材料科學(xué)研究、工藝開發(fā)、與生產(chǎn)質(zhì)量控制。Delta-X衍射儀的光源臺(tái)和探測(cè)臺(tái)的光學(xué)元件可以全自動(dòng)化調(diào)控,并采用水平式樣品臺(tái)。Delta-X衍射儀可以在常規(guī)衍射模式、高分辨率衍射模式、X射線反射模式之間靈活切換。光學(xué)配置的切換*在菜單式程序控制下由計(jì)算機(jī)完成,無需手動(dòng)操作。自動(dòng)化切換和準(zhǔn)直不需要專門人員和操作設(shè)備,并確保每次切換都能達(dá)到 佳的光學(xué)準(zhǔn)直狀態(tài)。
常規(guī)的樣品測(cè)量可以通過Delta-X衍射儀,實(shí)現(xiàn)部分、乃至*的自動(dòng)化運(yùn)行,自動(dòng)化測(cè)量程序可以依客戶需求進(jìn)行專門定制。也可采用*的手動(dòng)模式操作Delta-X衍射儀,以便發(fā)展新測(cè)量方法,研究新材料體系。
數(shù)據(jù)分析或擬合可以作為測(cè)量程序的一部分,可實(shí)現(xiàn)*自動(dòng)化,也可依據(jù)需要單獨(dú)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。 依半導(dǎo)體生產(chǎn)線的需求,將RADS和REFS擬合軟件以自動(dòng)化模式運(yùn)行,允許在沒有用戶干擾的情況下自動(dòng)完成常規(guī)性的數(shù)據(jù)分析,并直接完成數(shù)據(jù)擬合和結(jié)果輸出。RADS和REFS也可以單獨(dú)安裝,以便進(jìn)行更詳細(xì)的數(shù)據(jù)分析。
Delta-X 衍射儀的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
§ 自動(dòng)化進(jìn)行樣品準(zhǔn)直、測(cè)試、和數(shù)據(jù)分析
§ 客戶可以自行設(shè)定測(cè)量的自動(dòng)化程度
§ 300mm的歐拉環(huán)支架(Eulerian Cradle)設(shè)計(jì),高精度的樣品定位和掃描
§ 300mm的晶片水平式放置,且可以完整mapping
§ 100º的Chi軸傾轉(zhuǎn)范圍、無限制范圍的Phi軸旋轉(zhuǎn)空間,可實(shí)現(xiàn)極圖和殘余應(yīng)力測(cè)試
§ 智能化的光學(xué)配置切換和準(zhǔn)直。依測(cè)量需要,自動(dòng)選擇光學(xué)配置并實(shí)施光學(xué)準(zhǔn)直
§ 工業(yè)界先的設(shè)備控制軟件和數(shù)據(jù)分析軟件
§ 高分辨率測(cè)角儀,以保證精密且準(zhǔn)確的測(cè)量
§ 高強(qiáng)度的光源臺(tái)設(shè)計(jì)和光學(xué)元件組合,以實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量
§ 多方面廣泛的測(cè)試技術(shù)和測(cè)量參數(shù)
§ 由擁有超過30年的高分辨率X射線衍射經(jīng)驗(yàn)的世jie級(jí)專家設(shè)計(jì)、制造,具有客戶經(jīng)驗(yàn)。
Delta-X衍射儀的入射束包括多種標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)配置模式,以便使光學(xué)配置具有充分的靈活性,且易于操作??梢砸罁?jù)測(cè)量樣品的材料類型,選擇參考晶體。
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§ 標(biāo)準(zhǔn)模式:用于所有系統(tǒng),平行束多層膜高反鏡
§ 其他四種光學(xué)系統(tǒng)可以選擇和安裝:
§ Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)
§ Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)和一個(gè)參考晶體(二次反射)
§ 兩個(gè)獨(dú)立的參考晶體(二次反射):參考晶體的材料類型和分辨率有多種設(shè)計(jì)供選擇,以便提供與測(cè)量 匹配的分辨率。
§ 兩個(gè)參考晶體,以Bartels模式安裝
§ 參考晶體和高反鏡均可自動(dòng)化切換
§ 不需要將參考晶體和高反鏡手動(dòng)移出衍射儀,保證光學(xué)元件不被損壞、不偏離準(zhǔn)直狀態(tài)。
§ 衍射儀的初始準(zhǔn)直易于操作,安全可靠,無需在設(shè)備內(nèi)開啟X射線操作。
Delta-X衍射儀的歐拉(Eulerian )環(huán)支架設(shè)計(jì)允許放置單個(gè)或多個(gè)晶片或樣品,并提供多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的大范圍、高再現(xiàn)性的 移動(dòng)控制。
§ 水平式樣品放置
§ 可實(shí)現(xiàn)X和Y軸方向上,300mm內(nèi)的完整mapping測(cè)量,無邊緣測(cè)量失真的現(xiàn)象
§ 10mm的Z軸高度范圍,即使對(duì)厚樣品也可以調(diào)整晶片高度,獲得 佳測(cè)量位置
§ 在樣品盤的不同位置,設(shè)計(jì)了均勻、無扭曲的真空輕度吸附,既適合大尺寸晶片放置,又適合獨(dú)立、小尺寸晶片的多片式放置
§ 100°的Chi軸傾轉(zhuǎn)范圍,可實(shí)現(xiàn)完整的極圖和殘余應(yīng)力測(cè)量
§ Phi軸的旋轉(zhuǎn)范圍無限制,可實(shí)現(xiàn)完整的極圖和面內(nèi)衍射測(cè)量
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Delta-X衍射儀支持全晶片測(cè)量,無邊緣測(cè)量失真的現(xiàn)象。
Delta-X衍射儀可選配高溫臺(tái),并用于各種測(cè)試技術(shù)。
§ 樣品尺寸≤25mm
§ XRR/XRD/HRXRD等技術(shù)均可實(shí)現(xiàn)
§ 高溫度可達(dá)1100℃
§ 可實(shí)現(xiàn)真空、空氣、特殊氣體等不同的測(cè)量環(huán)境
§ 可實(shí)現(xiàn)溫度的計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制
探測(cè)臺(tái)
探測(cè)系統(tǒng)具有顯著提高響應(yīng)特性等多方面的特點(diǎn):
§ EDRc (動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍增強(qiáng)型)探測(cè)器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍>2x107cps。配置全自動(dòng)化衰減器后,動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍可提高至5x108cps。
§ 選配三軸分析晶體和Soller狹縫,可自動(dòng)化準(zhǔn)直,以保障各項(xiàng)測(cè)量所需的分辨率。
§ 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)化探測(cè)狹縫。無需手動(dòng)調(diào)整,即可控制探測(cè)臺(tái)的接收精度。
§ 超快速掃描引擎和軟件。大范圍掃描可以在5秒內(nèi)完成。
提供一維(1D)線探測(cè)器可供選擇,能實(shí)現(xiàn)束線信號(hào)的同步平行采集,能顯著提高XRD的測(cè)量速度。特別適用于小束斑條件下的XRD測(cè)量、和快速HRXRD倒易空間map測(cè)量。
§ 自動(dòng)化束線準(zhǔn)直
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