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DENTON桌面型磁控濺射臺(tái)-Desktop Pro

美國(guó)丹頓真空設(shè)備有限公司是世界真空鍍膜設(shè)備制造商，成立于1964年。丹頓是美國(guó)簽約的設(shè)備供應(yīng)商，為美國(guó)jun品研發(fā)和制造提供真空鍍膜設(shè)備。作為美國(guó)老牌“*”企業(yè)，丹頓真空以設(shè)備的實(shí)用性和可靠性見長(zhǎng)。目前，丹頓真空已為客戶設(shè)計(jì)制造了總數(shù)超過(guò)5千臺(tái)的各種規(guī)格的電阻/電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子束濺射/刻蝕和等離子體化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研開發(fā)、小規(guī)模制造和工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域。

Desktop Pro提供了一種高性能，小巧，實(shí)惠的磁控濺射系統(tǒng)。

設(shè)備優(yōu)點(diǎn)：

• 節(jié)省空間：Desktop Pro只需要不到36英寸的空間（0.9m）
• 節(jié)省費(fèi)用：一個(gè)電源可以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)靶槍
• 均勻性好：傾斜的靶槍和旋轉(zhuǎn)工件盤使得在整個(gè)工件盤上達(dá)到5%的鍍膜均勻性
• 抽真空速度快：抽速65lps的渦輪分子泵，保證系統(tǒng)   的抽真空性能和對(duì)反應(yīng)氣體的負(fù)載能力
• 可操作性：強(qiáng)大的控制系統(tǒng)基于PLC的觸摸屏控制系統(tǒng)提供下列操作模式：維修模式，手動(dòng)操作模式和半自動(dòng)操作模式
• 安全設(shè)計(jì)：互鎖保護(hù)避免不適當(dāng)操作對(duì)人員和設(shè)備的損害

技術(shù)特點(diǎn)：

• 標(biāo)準(zhǔn)配置兩個(gè)直徑2英寸的濺射靶材
• 可以處理大直徑為4英寸的工件
• 直流濺射，射頻濺射
• 共濺射
• 工藝氣體
• 觸摸屏控制