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mini-SEM-桌上型掃描電鏡(mini-SEM)
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貨物所在地:北京北京市

地: 捷克

更新時間:2024-10-15 21:00:07

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SEC公司研發(fā)生產的桌上掃描電鏡(Mini-SEM)實現了大電鏡的小型化處理,結構緊湊操作便捷,Mini-SEM以其人性化實用性設計及實惠的價格,成為了廣泛應用于以研究開發(fā)和品質管理教育等為目的的企事業(yè)單位,*,學校,研究所等機構的經濟普及型掃描電鏡。

桌上型掃描電鏡(mini-SEM

SEC公司研發(fā)生產的桌上掃描電鏡(Mini-SEM)實現了大電鏡的小型化處理,結構緊湊操作便捷,Mini-SEM以其人性化實用性設計及實惠的價格,成為了廣泛應用于以研究開發(fā)和品質管理教育等為目的的企事業(yè)單位,*,學校,研究所等機構的經濟普及型掃描電鏡。

 

                       Mini-SEM用戶界面

 

    掃描電子顯微鏡是用極細的電子束在樣品表面掃描(高速電子轟擊樣品),將產生的各種電子用特制的探測器收集,形成電信號運送到顯像管,在熒光屏上顯示物體,或者將激發(fā)出來的特征X光通過能譜儀或者波譜儀進行定量的成分分析的一種分析儀器。

   

掃描電鏡分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關,電子束斑越小,電子在試樣上的分辨率越高。在保證束斑足夠小的情況下,電子束還要有足夠的強度。束流太低不能從試樣表面激發(fā)足夠的信號,噪聲影響大。

二次電子對形貌敏感。凸起部位亮,凹陷部位暗,景深好,細節(jié)清晰。

背散射電子對原子序數敏感,原子序數高的區(qū)域能得到更多的背散射電子,相應圖像較亮,可以用來觀察材料成分的分部。

X光:原子被激發(fā)會發(fā)出X光,每種元素受激發(fā)射發(fā)出的X光會不同,通過對不同X光進行檢測,就可知道材料中包括什么元素和比例。

背散射探測器受真空度影響不大,可以適用于高真空和低真空模式。

二次電子探頭受真空影響較大,分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探頭。

應用

  • 半導體

薄膜結構及缺陷、材料成分分析、集成電路失效分析、光刻版圖形貌、太陽能電池、顯示面板及半導體封裝焊接等。

  • 金屬材料

細微晶體離子形態(tài)和結構

  • 化學材料-燃料電池

不同型號性能對比:

 

分辨率

20nm / (BSE, 30kV)

15nm / (SE, 30kV)

20nm / (BSE, 30kV)

5nm (SE, 30kV)  

 

放大率

30x ~ 30,000x

(有效: 15,000x)

30 x ~60,000x

(有效: 30,000x)

30 x ~ 100,000 x

(有效  : 60,000 x)

加速電壓

5kV to 30kV (5/10/15/20/30 - 5step)

探測器

背散射電子探測器

二次電子和背散射電子雙重探測器

二次電子探測器,背散射可選

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