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桌上型掃描電鏡（mini-SEM）

SEC公司研發(fā)生產的桌上掃描電鏡（Mini-SEM）實現了大電鏡的小型化處理，結構緊湊操作便捷，Mini-SEM以其人性化實用性設計及實惠的價格，成為了廣泛應用于以研究開發(fā)和品質管理教育等為目的的企事業(yè)單位，*，學校，研究所等機構的經濟普及型掃描電鏡。

                       Mini-SEM用戶界面

    掃描電子顯微鏡是用極細的電子束在樣品表面掃描（高速電子轟擊樣品），將產生的各種電子用特制的探測器收集，形成電信號運送到顯像管，在熒光屏上顯示物體，或者將激發(fā)出來的特征X光通過能譜儀或者波譜儀進行定量的成分分析的一種分析儀器。

掃描電鏡分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關，電子束斑越小，電子在試樣上的分辨率越高。在保證束斑足夠小的情況下，電子束還要有足夠的強度。束流太低不能從試樣表面激發(fā)足夠的信號，噪聲影響大。

二次電子對形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，細節(jié)清晰。

背散射電子對原子序數敏感，原子序數高的區(qū)域能得到更多的背散射電子，相應圖像較亮，可以用來觀察材料成分的分部。

X光：原子被激發(fā)會發(fā)出X光，每種元素受激發(fā)射發(fā)出的X光會不同，通過對不同X光進行檢測，就可知道材料中包括什么元素和比例。

背散射探測器受真空度影響不大，可以適用于高真空和低真空模式。

二次電子探頭受真空影響較大，分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探頭。

應用

• 半導體

薄膜結構及缺陷、材料成分分析、集成電路失效分析、光刻版圖形貌、太陽能電池、顯示面板及半導體封裝焊接等。

• 金屬材料

細微晶體離子形態(tài)和結構

• 化學材料-燃料電池

不同型號性能對比：