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北京亞科晨旭科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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LYRA-雙束聚焦離子束掃描電鏡 LYRA
  • LYRA-雙束聚焦離子束掃描電鏡 LYRA
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貨物所在地:北京北京市

地: 捷克

更新時(shí)間:2024-10-15 21:00:07

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基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒,LYRA3 FIB-SEM是一款SEM與FIB良好結(jié)合的一體化系統(tǒng),能夠滿(mǎn)足高要求客戶(hù)的需要。
新一代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(LYRA3)給用戶(hù)帶來(lái)了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng),內(nèi)置的編程軟件等,都使LYRA3保持著很高的性?xún)r(jià)比。

基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒,LYRA3 FIB-SEM是一款SEM與FIB良好結(jié)合的一體化系統(tǒng),能夠滿(mǎn)足高要求客戶(hù)的需要。

新一代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(LYRA3)給用戶(hù)帶來(lái)了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn),包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng),內(nèi)置的編程軟件等,都使LYRA3保持著很高的性?xún)r(jià)比。

LYRA3系列的設(shè)計(jì)適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的強(qiáng)大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

現(xiàn)代電子光路

  • *的大視野光路設(shè)計(jì)提供各種工作與顯示模式
  • 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”
  • 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
  • 全自動(dòng)鏡筒設(shè)置與對(duì)中
  • 成像速度很快
  • 3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像
  • 可選的電子束遮沒(méi)裝置提供了電子束光刻技術(shù)

高性能離子光路

  • 高性能CANION FIB設(shè)備提供既快又 的切片與TEM樣品制備技術(shù)
  • 可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設(shè)備在成像與銑削過(guò)程中依然保持很高的分辨率

聚焦離子束裝置

  • 裝有兩套差異泵的*離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低
  • 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器
  • 電子束遮沒(méi)裝置與法拉第筒作為標(biāo)配
  • 同時(shí)可以進(jìn)行離子刻蝕/沉積與SEM成像
  • FIB的操作軟件集成在SEM軟件
  • 軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)
  • 微/納米加工
  • 離子束光刻

維修簡(jiǎn)單

只需要很短的停機(jī)檢修時(shí)間,就能使得電鏡長(zhǎng)期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得非常仔細(xì),使得儀器的效率 大化,操作 簡(jiǎn)化。

自動(dòng)程序

自動(dòng)設(shè)置和許多其他的自動(dòng)化操作是設(shè)備的特點(diǎn)之一。除此之外,電鏡還有樣品臺(tái)自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)分析 程序,能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內(nèi)置腳本語(yǔ)言 (Python)可進(jìn)入操作軟件的大多數(shù)功能,包括顯微鏡控制、樣品臺(tái)控制、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)還可以編程其自己的自動(dòng)操作程序。

用戶(hù)界面友好的軟件與軟件工具

  • 多用戶(hù)和多語(yǔ)言操作界面
  • 圖像管理與報(bào)告生成
  • 內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷
  • 網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷
  • 模塊化的軟件結(jié)構(gòu)
  • 標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括:自動(dòng)離子束控制、電子束寫(xiě)入基本版、同時(shí)的FIB/SEM成像、預(yù)定義FIB工作模式等軟件工具
  • 可選軟件包括了:顆粒度分析標(biāo)準(zhǔn)版/專(zhuān)家版、3維表面重建等模塊
  • 電子束寫(xiě)入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強(qiáng)大工具
  • 可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時(shí)的全自動(dòng)連續(xù)SEM圖像,三維重構(gòu)與三維可視化

LYRA3 GM

LYRA 3 GM是一款*由計(jì)算機(jī)控制的聚焦離子束場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS), 有高真空和低真空兩種模式,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶(hù)界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等

LYRA3 XM

LYRA3 XM是一款*由計(jì)算機(jī)控制的聚焦離子束場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS),有高真空和低真空兩種模式,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶(hù)界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點(diǎn)?;赪indows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作和圖像采集,可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片,可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量,實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

 

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