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CRESTEC-電子束直寫系統(tǒng) CABL-9000C series
  • CRESTEC-電子束直寫系統(tǒng)  CABL-9000C series
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貨物所在地:北京北京市

地: 日本

更新時間:2024-09-26 14:09:07

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產(chǎn)品特點(diǎn)
1.采用高亮度和高穩(wěn)定性的TFE電子槍 
2.出色的電子束偏轉(zhuǎn)控制技術(shù) 
3.采用場尺寸調(diào)制技術(shù),電子束定位分辨率(address size)可達(dá)0.0012nm 
4.采用軸對稱圖形書寫技術(shù),圖形偏角分辨率可達(dá)0.01mrad 
5.應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,如微納器件加工,Si/GaAs

電子束光刻系統(tǒng)EBL (E-Beam Lithography)
電子束直寫系統(tǒng) 、 電子束曝光系統(tǒng)
CABL-9000C series

納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀(jì)納米科技提供 的電子束納米光刻(EBL)系統(tǒng),或稱電子束直寫(EBD)、電子束爆光系統(tǒng)。 

型號包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LBCABL-4200LB。其中CABL-9000C系列小線寬可達(dá)8nm,小束斑直徑2nm,套刻精度 20nm(mean+2σ),拼接精度 20nm(mean+2σ)。

技術(shù)參數(shù):
1.小線寬:小于10nm8nm available) 
2.加速電壓:5-50kV 
3.電子束直徑:小于2nm 
4.套刻精度:20nm(mean+2σ) 
5.拼接精度:20nm(mean+2σ) 
6.加工晶圓尺寸:4-8英寸(standard)12英寸(option) 
7.描電鏡分辨率:小于2nm

主要特點(diǎn):
1.采用高亮度和高穩(wěn)定性的TFE電子槍 
2.出色的電子束偏轉(zhuǎn)控制技術(shù) 
3.采用場尺寸調(diào)制技術(shù),電子束定位分辨率(address size)可達(dá)0.0012nm 
4.采用軸對稱圖形書寫技術(shù),圖形偏角分辨率可達(dá)0.01mrad 
5.應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,如微納器件加工,Si/GaAs 兼容工藝,研究用掩膜制造,納 米加工(例如單電子器件、量子器件制作等),高頻電子器件中的混合光刻(Mix & Match),圖形線寬和圖形位移測量等。

 

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